小型波导传感器单元技术研究

本文提出用梯度有效折射率平面波导形成小型波导传感器的方案 ,对关键单元技术进行了分析和实验 ,给出了结构参数测量结果     

2000—2500埃法—珀型金属—介质干涉滤光片的制备(研制进展报告)

用铝膜作高反射层,氟化镁膜作间隔层,采用双半波二级次与一级次滤亢膜系相结合,制成了2500埃以下波段具有高度自截止的远紫外窄带滤光片。主峰透射率≥25％,通带半宽度为150—180埃,对比度优于200。基本无旁带次峰,解决了不用远紫外玻璃来消除次峰的困难。在制备中,改进了铝膜镀制工艺和厚度控制方法,提高了金属—介质膜滤光片主峰波长定位精度,用普通的镀膜设备研制成功了满足燃化工业所要求的远紫外滤光片。