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1
1.
抗高过载加速度计微结构的设计与分析
总被引:1,自引:0,他引:1
王伟
陈丽洁
贲庆玲
邵宪辉
陈昕
《计量与测试技术》
2009,36(9):5-7
介绍一种抗高过载加速度计的结构,对其惯性结构、过载保护结构及气体阻尼结构进行了详细分析,其中惯性结构采用有较好过振保护的双端固支梁,其截面设计成一种具有应力集中特点的凹形截面.用有限元分析对微结构进行模拟计算,并通过试验验证.验证结果表明,该加速度计在经过20000gn冲击后,在±50gn的量程内非线性达到1%,灵敏度达到1mV/g.
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