钙钛矿镍氧化物外延薄膜研究现状分析

分别从掺杂对镍氧化物的结构表征影响、镍氧化物薄膜的各向异性应力的控制、各向异性应力对镍氧化物薄膜的热致变色效应的调控3个方面介绍了钙钛矿镍氧化物外延薄膜的研究现状,为将来相关器件的实用化提供了研究参考。     

氧缺失对Nd0.7Sr0.3MnO3外延膜结构和输运性的影响

不同厚度的Nd0.7Sr0.3MnO3(NSMO)外延膜是由脉冲激光沉积生长在(LaAlO3)0.3(Sr2AlTaO6)0.7(LSAT)(001)衬底上的。X射线衍射(XRD)和电阻率测量结果显示,沉积氧压为21.333Pa时薄膜c轴参数随着膜厚的减小而增加,同时金属-绝缘体的转变温度TP下降,电阻率增大;另一组生长在27.999Pa氧压下,厚度为120nm的薄膜单胞体积随着退火温度的升高而增大,同时电阻率升高,TP下降。上述结果归因于低的原位沉积氧压和真空退火引起的氧缺失导致n(Mn3+)/n(Mn4+)的增大以及MnO6八面体的畸变。结果表明,对超薄的应变薄膜,要获得较高的TP值,较高的沉积氧压是必需的,同时应仔细考虑真空退火对薄膜性能的影响。