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TFC’11全国薄膜技术学术研讨会和真空科学与技术学报工作会议在驰名天下的英雄城南昌召开了。全国薄膜技术学术研讨会是国内薄膜技术有影响的且是规模较大的学术交流活动,首届全国薄膜技术学术研讨会于1982年召开,TFC’11会议是全国薄膜技术学术研讨会的第11届盛会。TFC’11全国薄膜技术学术研讨会由中国真空学会薄膜专业委员会主办,此次学术研讨于2011年8 相似文献
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为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适就应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜审的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次.并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求. 相似文献
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