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1.
底电极对PYZT铁电薄膜电容器的影响   总被引:1,自引:1,他引:0  
PYZT铁电薄膜电容器的制备采用sol-gel方法,将约500nm厚的PYZT薄膜沉积在Pt/Ti、Pt/SiO2及Pt/RuO2底电极上,基片为Si(111)。详细分析研究了PYZT薄膜在不同底电极,不同快速热处理温度下的晶相结构及PYZT铁电薄膜电容器的小信号特性。研究发现,沉积在Pt/RuO2底电极上的PYZT薄膜经800℃快速热处理具有较接近理想外延PYZT薄膜结构,而且εr随着快速热处理温度升高而减小,在800℃快速热处理条件下其εr约为150。  相似文献   
2.
钛酸铅铁电薄膜电容器及其存储单元的制备   总被引:1,自引:0,他引:1  
用溶胶-凝胶方法制备出了PbTiO3(PT)铁电薄膜电容器,设计了相应的非易失存储单元。介绍了PT溶胶的络合、水解成胶反应,铁电薄膜电容器的制备工艺,存储单元电路设计及工作原理。  相似文献   
3.
铁电薄膜的制备及应用技术研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
研究出具有特色的制备铁电薄膜的 sol-gel技术;制备出高质量、高可靠的 PLT、PZT、PYZT、BST”l、PbTiO3、BaTiO3、Bi4Ti3O12多晶铁电薄膜,PLT、PZT和伽里O3异质外延生长铁电薄膜;研制出铁电薄膜热释电单元红外传感器,8元、9元、1O元线列和8X8元阵列;研制出热释电火情探测器和热释电非接触式温度测试仪。  相似文献   
4.
溶胶-凝胶方法制备PZT铁电薄膜材料的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文介绍了用sol-gel方法制备PZT铁电薄膜的工艺,并指出采用快速热处理工艺能有效地防止薄膜开裂。比较了用3种不同锆盐原料制备的PZT薄膜的性能。实验结果表明,用无机盐硝酸锆制备的PZT铁电薄膜的性能最好。  相似文献   
5.
用过渡金属氧化物MnO2、FeO3、CuO、CO2O3等为主要原料,掺入少量杂质,采用传统的电子陶瓷工艺,制备出红外陶瓷粉料,然后选择合适的粘合剂与粉料混合,调制成常温远红外辐射浆料,涂覆在织物上烘干,在40℃下测得其法向全发射率为87%。  相似文献   
6.
溶胶—凝胶方法制备PZT铁电薄膜材料的研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
饶韫华  刘梅冬 《功能材料》1994,25(6):539-541
  相似文献   
7.
铅基钙钛矿型结构铁电薄膜的介电及热释电性能研究   总被引:6,自引:0,他引:6  
用改进的溶胶-凝胶旋转涂履技术,在Pt/Ti/SiO2/Si基片上研制出了1-2μm厚,具有钙钛矿型结构的PbTiO3、PLT和PZT铅基铁电薄膜。该类铁电薄膜具有良好的结晶特性、优异的介电和热释电性能。  相似文献   
8.
直热式远红外辐射加热器的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了直热式远红外辐射加热器的制备工艺。测试出这种加热器具有很高的红外辐射效率,且寿命长、表面绝缘性好、用途广,是一种很有魅力的新型红外辐射源。  相似文献   
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