工业性氦质谱检漏试验

1.引言最初的氦质谱检漏仪的专利大约始于40年前,那时,还没有能够达到所需要的灵敏度的技术。人们一直认为检测很微小的漏孔是氦检漏的主要用途。浸水检验,卤素检漏仪和着色渗透仍然是工业上的传统方法。这时,大部分待检的漏孔为10~(-3)～10~(-6)毫巴·升/秒。近10年来,采用更可靠、更便宜的电子元件的真空技术的发展,已允许氦检漏仪在工业应用