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介绍了简单法布里-珀珞滤光片和多半波滤光片的结构和特性,并且对两者的透射率光谱特性进行了比较。分析了多半波滤光片的特点,进行了最优化的膜系设计。文中给出了一种最优化设计的程序流程图。 相似文献
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实时光学薄膜膜厚监控系统研究 总被引:5,自引:2,他引:5
在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统.实验表明,该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪,以及对膜层厚度的准确控制. 相似文献
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原子层沉积技术及应用发展概况 总被引:2,自引:1,他引:2
首先回顾了原子层沉积(ALD)发展历史,介绍了ALD的基本工艺和ALD薄膜具有的优良特性,并与传统的薄膜制备工艺进行了对比研究.重点阐述了ALD在微电子技术、微电子机械系统以及光学工程中的几个应用研究现状.分析了ALD目前存在的问题,并对ALD未来的发展进行了展望. 相似文献
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从工程的角度分析了传统斜率法判断极值点的固有局限性,然后建立监控信号的数学模型,在此基础上,运用现代数字信号处理技术和数学方法,设计了一种新的光学薄膜厚度实时监控算法. 相似文献
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本文研究在大气压强下的空气或氧气火花放电中所出现的化学反映、自真空效应、热对流效应。把这种现象用于木材的处理改性,使红木或其它木材的表面层的颜色自然深化,用一小时放电可代替长期贮存所得到的效果。放电处理还具有干燥、杀菌、防腐等作用。 相似文献
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酞菁锌薄膜气敏透射光谱研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了用真空升华方法制备的酞菁锌(ZnPc)薄膜在不同浓度的酒精和氨气中的透射光谱以及处理温度对光透射率的影响。结果地现,ZnPc薄膜对氨不敏感,但对酒精很敏感,而且光透射率随气体浓度增加而下降,在大气中退火处理的薄膜,其秀射率随酒精浓度的增加而显著下降,特别是在330℃处理1h后、波长为470nm时,在体积分数为0%-15%的气体中薄膜透射率变化的绝对值达30%。 相似文献
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