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目前激光对中仪校准主要采用的方法为垫量块法,但是该方法存在操作复杂、工作效率低、可靠性不高等缺点。针对激光对中仪校准问题,本文提出了一种集光束对准与二维定位误差校准于一体的激光对中仪快速校准方法,并研制了的相应的校准装置。所研制的。该装置采用激光头固定器安装对中仪的被测单元,利用光栅式二维移动平台改变被测单元位置,通过三维回零偏置转台安装和调整对中仪的基准单元,利用自研的光栅数显表实时观测和显示X、Y轴位置及状态信息。该校准装置测量范围为40 mm×40 mm,测量扩展不确定度为3.2 μm。,具有准确性高、操作方便快捷、可靠性好等优点,具有实际应用价值和技术借鉴意义。为激光对中仪校准及其计量性能研究提供了有效的手段,具有很高的实用价值。 相似文献
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万能工具显微镜是一种常见的二维坐标尺寸测量的光学仪器,其仪器的通用性广、测量精度高,被广泛运用,本文主要阐述了万能工具显微镜在使用过程中的常见故障及维修方法,如主显微镜放大倍率的调整、仪器主镜头零位的调整、横向导轨直线性超差的原因判断及调修方法等,以保障仪器的正常使用和精密测量. 相似文献
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