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准分子激光表面形貌修饰技术   总被引：1，自引：0，他引：1  
介绍了准分子激光微细加工技术的特点、加工机理以及加工系统.探讨了准分子激光用于表面微观形貌的修饰技术,采用准分子激光微细加工技术对Al2O3陶瓷材料试件表面构建表面微观形貌,达到改善材料表面微摩擦性能,最终为实现微机械中微摩擦性能的控制提供了有利的手段.  相似文献   
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