硅离子注入硅辐照效应的计算机模拟研究

利用SRIM软件计算模拟不同能量的硅离子注入硅靶的作用过程、能量损失、硅靶损伤情况。结果表明,随入射硅离子能量的增加,其运动方向偏离入射方向的程度越来越大,且平均投影射程越来越大;硅靶的损伤区域越来越大,且级联损伤占总损伤的比例也越来越大;电离能损、声子能损不断增大,且电离能损随能量的变化近似为一直线;电离能损占总能损的比例不断增加,声子能损占总能损的比例不断减少;位错、空位和替位碰撞的数量都不断地增大。     

基于印刷线路板技术的复合气体探测器

将当前先进的PCB加工技术用于制作微条气体探测器(MSGC),并结合微电子加工技术制作电子倍增器(GEM),可以制作性能优越价格低廉的复合式位置灵敏探测器.论文从气体探测器工作原理出发,分析了各种类型气体探测器的优缺点,并根据当前国内的微电子加工技术,设计制作了MS-GC+ GEM复合式气体探测器.随着PCB精加工技术的进步,性能更优越可靠、更易加工的气体探测器很快将问世.