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工艺参数对磁控溅射制备 TiO2 薄膜结晶性的影响 总被引:2,自引:1,他引:1
目的探究TiO2薄膜结晶性与工艺参数之间的规律。方法采用直流反应磁控溅射法,改变工艺条件(样品位置、溅射功率、氧气分压、是否开转架、沉积温度以及是否退火),在普通载玻片基底上制备TiO2薄膜,并利用XRD和SEM对不同工艺参数下获得的TiO2薄膜进行分析。结果在靶基距固定的情况下,仅改变样品悬挂的上下位置时,薄膜的结晶性差别不大。随着溅射功率在一定范围内增大,薄膜的结晶性越来越好(趋于锐钛矿晶型)。与氧气分压为5%时相比,10%时的薄膜结晶性更优;与开转架时相比,不开转架时薄膜的结晶性更优。沉积温度在300,350℃两者之间变化时,对薄膜的结晶性影响不大。退火后薄膜的结晶性优于未退火薄膜。结论样品位置、沉积温度对于TiO2薄膜的结晶性影响不大;氧气分压、是否开转架对TiO2薄膜的结晶性有一定影响;溅射功率、退火与否对TiO2薄膜的结晶性影响较大,并且退火后出现金红石相。 相似文献
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将纳米Ti2O3颗粒与微米铁粉载体混合并冷压后在真空条件下添加进X80管线钢钢液中,其中单纯重熔试样与原始钢样比较,夹杂物颗粒和疑似缩松的部分较多,而且也比较粗大;添加少量(0.01%)纳米Ti2O3颗粒的试样的夹杂物颗粒和疑似缩松的分布和数量与单纯重熔的相似,但在那些夹杂或缩松位置处并未检测到Ti的组分;当纳米Ti2O3颗粒的添加量为0.1%时,在有些夹杂或缩松的位置检测到了Ti的组分,这些Ti有的以Ti的氧化物形式存在,有的则与其他夹杂或元素反应,形成氧化物之外的夹杂或复合夹杂,此时X80管线钢铸态晶粒组织获得了细化. 相似文献
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通过数学物理模型的建立,采用数值计算法,计算了真空炼钢条件下,通过产生的CO气泡脱氮的动力学规律,找出了不同深度产生的CO气泡脱氮的不平衡参数和脱氮数量与熔池深度的关系。 相似文献
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