刮板式微致动器性能研究

刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器。结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模型的计算结果与已有的实验数据以及理论模型作了对比。结果表明,本文理论分析模型的的理论值与实验结果有较好的一致性。     

计入空气阻尼的MEMS微谐振器非线性动力学研究

针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究.建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动力学方程进行求解.经过与国外实验对比,可得出考虑非线性阻尼力的平板振幅值非常接近实验值,振幅峰-峰值误差仅为6%,且优于线性动力学的分析结果.为MEMS器件非线性动力学特性分析提供理论依据.