基于栅结构谐振器的X和Y轴加速度及Z轴角速度的组合测量

本文利用一由两个相互垂直的加速度计组成的栅结构谐振器来同时测量z轴和Y轴的加速度以及z轴的输入角速度．此谐振器利用变面积电容进行检测,具有良好的线性度及快速的信号响应．此谐振器的x轴及Y轴的加速度计的谐振频率分别为1．9315kHz和1．8403kHz．在初始状态下,Ⅳ轴的加速度计被驱动进入谐振状态,且Y轴的加速度随着x轴的加速度计一起振动．当=轴存在角速度输入时,Y轴的加速度计会相应地沿Y轴进行振动,而x轴及Y轴的加速度会改变相应轴上加速度计的平衡位置．测试结果表明,此器件的z轴角速度灵敏度为16mV／（（9）·s-1）,x和Y轴的加速度灵敏度分别为49mV／g和244mV／g．z轴角速度输出的噪声等效角速度为0．0138（s·／Hz-1）,x和Y轴加速度输出的噪声等效加速度为0．42X10-3g／／Hz和0．074X10-3。g／√Hz．     

CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器

提出一种采用正面开口进行湿法腐蚀释放热电堆的结构,通过利用高精度光刻、LPCVD(low -pressure chemical vapor deposition)薄膜生长、IBE(ion beam etching)干法刻蚀、TMAH ((CH3)4NOH)腐蚀等微机械加工技术,设计并制作了CMOS兼容的微机械多晶硅热电堆红外探测器.实验得到的器件成品率达到90%以上,响应率为12.5 V/W,探测率1×107 cmHz1/2/W,为进一步大规模红外面阵研究奠定了基础.     

微机械加速度计中的寄生电容对噪声的影响

主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响,建立敏感元件的电磁仿真模型,进行噪声公式的推导,并得到了实验验证.通过仿真分析发现,铝电极下的玻璃衬底是增大该寄生电容的主要因素.实验结果表明,该寄生电容会增加60％以上的系统噪声.