HSGFET 型臭氧传感器室温下对纳诺量级O3 的检测

本文介绍了双敏感膜,复合悬浮栅（Hybrid Suspended Gate即HSG）FET型臭氧传感器的结构与制作,重点研究了敏感膜和结构不同的传感器对O3敏感性的影响,并对所得实验结果进行了分析比较。     

室温工作双敏感膜HSGFET型O3传感器的研究

本文研究室温下工作,具有双敏感膜,检测ppb范围内O₃浓度的复合悬浮栅FET(Hybrid Suspended Gate Field Effect Transistor即HSGFET)型臭氧传感器.文中给出了四种固态HSGFET型臭氧传感器的实验结果,发现具有 结构的传感器对O₃有很好的响应特性;实验结果与由开尔芬(Kelvin)探针得到的结果进行了比较.