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利用MEMS工艺,设计并制作了一种梳齿推挽驱动的微型磁场传感器.在器件工作时,磁传感器的谐振振子工作在收缩或扩张的模态,进而引起谐振振子上的双层铝线圈包围面积发生变化,即回路线圈中的磁通量发生变化.根据电磁感应原理,将会在线圈的两端产生正比于磁场强度的感应电压.推挽驱动结构设计增加了谐振器驱动力,提高了磁传感器的灵敏度.实验结果表明:磁传感器在大气环境下的灵敏度为0.846 99 mV/T,非线性度为-0.265%.由于传感器采用差分检测电路,减小了磁传感器的零偏电压,零偏输出电压仅为0.0019 mV. 相似文献
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传统的测温系统一般都是由温度传感器、A/D转换、单片机处理、显示驱动芯片和LED显示组成,而本测温系统则是用一线测温器件DS18B20与89C2051单片机共同组成了最小的测温系统。一、DS18B20简介DS18B20是美国DALLAS公司生产的一线数字温度传感器,它的测温范围从-55℃到+125℃,分辨力为0.0625℃,在-10℃到+85℃范围内其测温准确度为±0.5℃。它体积小、功耗低、抗干扰能力强、易与微处理器连结,它无需任何外围硬件即可方便地进行温度测量,与单片机交换信息仅需要一根I/O口线,其读写及温度转换的功率也可来源于数据总线,而无需额外电… 相似文献
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