硅片涂胶及软烘自动设备的研制

为了提高硅片光刻工艺中-涂胶及软烘两操作的实验效率.减少手工操作可能带来对硅片表面的污染.系统采用机械手代替手工完成硅片在各工位之间自动化传输.硬件部分采用PLC作为控制核心部件,由步进电机、接近开关、光电开关、热电阻、电磁间等组成.详细介绍了软件控制方法,实现硅片精确传输、光刻胶用量控制、软烘温度检测等功能.     

一种确定波片快慢轴方位的新方法

提出了一种新的波片快慢轴的确定方法,此方法是将待测波片置于起偏器和检偏器之 间,通过旋转待测波片,对出射光的光强进行两组数据测量,就可以确定待测波片的某一光学主轴,再通过判断出射光的偏振态来确定该光学主轴是快轴还是慢轴。本方法对测量用的光源波长、光电探测器的线性、暗流及各向同性性均没有要求,可以确定出任何相延角波片的快慢轴,定轴精度可达±0. 1°。     

一种研究迁移现象的新方法

提出了一种基于数字图像处理应用干涉法研究迁移现象的新方法。重点分析了CCD尺寸测量光学系统的设计原理、图像采集及处理方法,实现了测试研究的智能化。     

有机玻璃中溶剂迁移现象的钠光测试方法

提出一种基于钠光和斐索干涉原理、采用数字图像处理技术测量高聚物体系中溶剂迁移现象的方法。重点介绍了图像处理的步骤和方法、用K-L变换对细化条纹进行条纹间距的计算。结果表明，用该方法所开发的测试系统有良好的人机对话界面，能方便、准确地测出干涉条纹的间距值。通过测试丙酮和乙醇在有机玻璃配制的聚合物膜中的迁移过程，得出了相应的干涉条纹变化规律，从而得到两种溶剂迁移过程中高聚物折射率的变化规律。结果表明，在迁移的过程中，随着时间的推移，条纹间距变小，而且变化程度逐渐减小；在同样的条件下，不同物质的迁移速度有很大的差异。     

金属精密零件的不接触测量

提出了一种对金属光洁精密零件的厚度和柱、球的直径进行不接触测量的方法。这是用一组固定的麦克尔逊干涉系统和另一组可在精密导轨上移动的麦克尔逊干涉系统组成,利用白光零级干涉条纹不接触定位进行测量。理论分析和实验结果均表明,这种方法可行并有高的测量精度。     

Ti-Ni合金上镀制类金刚石薄膜研究

利用脉冲真空电弧离子镀技术在Ti-Ni形状记忆合金上成功地镀制了类金刚石薄膜，测试了膜层的电阻率，进行了Raman散射和扫描电镜（SEM）分析，并对两种工艺方法的优劣进行了比较。     

一种研究迁移现象的新方法--干涉法

提出了一种新的研究测试高聚物体系中小分子物质迁移的方法——干涉法。阐述了该方法的原理，建立了数学模型，并进行了误差分析。该方法切实可行，误差在合理范围之内。     

江平镇工业园区污水处理运营管理模式探讨

随着东兴市江平镇江平工业园区的进驻企业迅速增加,同时带动周边相关行业快速发展,园区内工业污水产生量也逐年增多,但是现有排水系统无明显排水分区,工业园区内仅有一个生活污水处理厂,现状排放雨水、污水处理设施不符合需求,研究探讨出适合江平工业园区的污水运营模式迫在眉睫,并对比分析最新提出的“环保管家”模式,提出适用于江平工业园区的环保管家运行新模式。     

不同减振衬垫对模拟运输猕猴桃生理和品质影响

合理包装对于减轻果实采后损伤和保持其新鲜品质具有重要作用。本研究采用模拟公路运输振动方法,研究聚苯乙烯泡沫衬垫、聚氯乙烯塑料衬垫以及自主研制的珍珠棉衬垫对猕猴桃果实生理和品质的作用效果。结果表明,三种减振衬垫均能不同程度降低猕猴桃模拟运输后的果实失重率、呼吸强度、乙烯释放量,延缓果肉软化。其中,珍珠棉衬垫能保持猕猴桃较高的硬度和可溶性固形物含量,降低失重率、呼吸强度以及乙烯释放量。综合各指标,珍珠棉衬垫效果最优,可以有效延缓猕猴桃模拟运输后的品质劣变,更利于运输后的贮藏和品质保持。     

利用迈克尔逊干涉仪测量光学球面的曲率半径

提出了一种光学球面曲率半径的无损测量方法，它利用麦克逊干涉仪的白光干涉零级暗条纹测出平面与被测球面相交的圆直径及相应的矢高值后，便可求得球面曲率半径。测量过程中无测量力的影响，也不会损坏被测件表面，而且测量时对被测件安装定位无特殊要求，误差环节少，具有实用意义。