HSGFET 型臭氧传感器室温下对纳诺量级O3 的检测

本文介绍了双敏感膜,复合悬浮栅（Hybrid Suspended Gate即HSG）FET型臭氧传感器的结构与制作,重点研究了敏感膜和结构不同的传感器对O3敏感性的影响,并对所得实验结果进行了分析比较。