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1 概述目前,国内外都在努力开发探测化学浓度的小型传感器。这种小型传感器由两部分组成:一个小型物理探测器件和一个化学选择性好的涂层。化学涂层与被监测的化学介质相接触,两者之间能发生选择性的物理作用或化学作用,使涂层的性质有所改变。物理探测器件与化学涂层相接触,化学涂层性质的改变引起物理探测器件上的物质传输或能量  相似文献   
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1 概要硅压敏电阻传感器在运输和工业控制中已经成为主要探测元件。在开发高性能仪器方面,它的作用越来越大。然而,这种传感器探测结果的准确度与温度有关。这种温度特性使其在实际应用中受到了限制。在当前所用的硅压敏电阻传感器中,对压力灵敏度都进行了温度补偿。在制造过程中己经在片子上做了晶体管补偿电路,这样就大大改善了硅压敏电阻传感器受温度的影响,但对失调电压的漂移研究很少。对失调电压进行温度补偿需要复杂的外部电路,失调电压随温度变化的幅度因不同的传感器而有很大的不同,所以失调电压的补偿是很复杂  相似文献   
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本文对探头及测试器件的微型化,研究了一些有效办法并用了氨敏场效应晶体管,取得成功  相似文献   
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把压敏电阻敏感元件、温度补偿电路和高电平放大器,在硅片上采用集成技术制成微型应变传感器,它有电压及频率两种形式的输出。给出了该传感器的设计、制造和测试结果。这种传感器也可以做压力传感器使用,不过在设计几何布局和制造处理上略有不同。  相似文献   
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