梯形曝光过程的控制

可变矩形电子束曝光机的基本曝光图形是矩形。梯形曝光是通过把梯形分解成为一串单元矩形的序列,依次曝光,拼接而成。本文先简要叙述矩形曝光的控制,然后着重介绍梯形控制器的工作原理以及梯形的曝光过程。     

数模变换器线性误差电子计算机自动测试系统

线性度是数模变换器(以下简称D/A)的一个很重要的参数。评价一个D/A的线性误差,需要进行大量的测试。用人工逐点测量,一是慢,二是要作大量重复性的误差计算,特别是随着D/A位数的增加,工作量和复杂程度更将成倍增长。测试速度慢、过程长还会使测试结果除线性误差外,引入由于电源漂移和环境温度变化而引起的误差,影响对一个D/A的线性误差作出正确的评价。针对这些问题,     

提高数模变换器线性误差的测试速度

在数模变换器(以下简称D/A)线性误差自动测试系统中,为使数字电压表(以下简称DVM)SM215MK2正常工作,在相邻两次启动DVM之间,控制程序必需插入约0.7秒的延时循环,从而显著地降低了系统的测试速度。考虑到D/A需要作大量的测试,当位数增加时,测试点更是成倍增长,因此有必要设法提高该系统的测试速度。本文将从DVM本身、计算机的接口和程序设计三个方面,提出改进措施,使系统的测试速度可提高一倍以上,约为2次/秒。文中对DVM的改进,实际上也可适用于其他双斜率积分型DVM。     

微型机TRS-80的IEEE-488总线控制软件GPIB48K

本文叙述微型机TRS-80的IEEE-488 总线控制软件GPIB48K的语句功能,并举例说明。     

用DJS—130计算机控制的电子束图形发生器系统

<正> 一、概述本文描述为我所的电子束曝光机配套的图形发生器系统。它包括软件和硬件两个方面,其中硬件又可分为三个组成部分:接口电路、控制器和扫描系统,实物照片如图1所示。     

8502A/AS型数字万用表的远程控制

本文介绍用微型机远程控制8502A/AS数字万用表的方法和程序,以及8502A/AS使用中的点滴经验和体会。     

数/模和模/数转换器的线性误差微分线性误差及其测试方法

一、引言数/模和模/数转换器(以下简称D/A和A/D)广泛地应用于现代的测量和控制仪器设备之中。研制、生产和使用D/A和A/D,均要求对其性能进行准确的测量。由于D/A和A/D的性能参数比较复杂,并具有一些通常为人们所不熟悉的特性,制造厂对各自产品的性能参数的定义也不全相同,因此,在开始讨论这些性能参数的测试方法以前,有必要探讨一下它们的含义以及相互之间的内在联系。本文先分析D/A的转换特性(它也是     

高速、短辅助操作间歇电子束直接晶片描绘系统

由于生产率的限制,电子束描绘系统通常用于制作光掩模和中间掩模。发展了一个矢量扫描电子束描绘系统(EBSP),分辨力为1—1.25μm,图形套刻精度为±0.25μm;当图形的最细线条为1—1.25μm时,生产率可达每小时14片3英寸晶片;图形的最细线条为2.5μm时,达每小时20片3英寸晶片。本文讨论限制矢量扫描电子束系统生产率的各种因素,并描述为使生产率改进到上述数量,对早期的光掩模机(EBMⅡ)的各个主要分系统作出的新发展和改进。