光刻伺服录写设备中主轴电机的高稳定性控制

在我们研制的光刻伺服码录写设备中,主轴伺服系统是它的重要部分,其运行的平稳性直接影响了盘片伺服图形的预刻精度。介绍了采用多闭环反馈的电机控制电路,保证了电机运行的高稳定性要求。     

硬盘机流体动压轴承仿真软件的GUI设计

介绍了以风行美国的MATLABV5．2为开发平台的流体动压轴承仿真软件总体设计的特点，重点介绍了软件中图形用户界面的主要特点及其设计方法。     

三种主轴稳速闭环控制系统

给出了采用精密圆光栅作反馈的三种主轴稳速系统；一种是采用ＣＤ４０４６作锁相环，第二种是采用８０９８单片机作闭环控制；第三种是采用外部时钟的８０９８控制，并探讨了这三种方案的设计、调试、以及它们的性能比较。     

磁盘机流体轴承计算机仿真

以二维度平均的雷诺方程作为流体动压轴承的控制方程，通过用有很元方法求解做扰动方程求取轴承刚度系数和阻尼系数，所取单元为三节点的三角形单元。     

磁盘机流体动压轴承FEM仿真的优化设计

将Taguchi方法与有限元法（FEM）相结合，对流体动压轴承（HDB）进行优化，使优化时间缩短到可以接受的范围，使整个HDB设计有了一套较完整的仿真工具。     

预（光）刻伺服录写装置光记录系统设计

将光盘驱动器高道密度记录技术应用于磁盘驱动器，对于大幅度提高磁盘驱动器的容量具有非常重要的意义。预（光）刻伺服录写装置便是开发大容量磁盘驱动器的一种高精尖技术设各。本文主要讨论预（光）刻伺服录写装置光记录系统设计。该系统中以完成６３６０ＴＰＩ磁盘的刻录。     

刻录头的聚焦检测

本文结合设计开发的磁盘预光刻伺服录写装置，详细分析了刻录头聚焦检测光路，建立并研究了检测信号模型，指出可通过适当选取参数，获得较大范围的检测距离。