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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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EILog-05成套测井装备是中国石油集团测井有限公司研发的具有完全自主知识产权的集成测井系统。集成化设计提高了测井仪器性能,综合化设计实现了地面系统网络化,成像测井仪器的配接成功丰富了测井项目,配套使用的一体化LEAD处理解释软件能更好地实现测井资料的现场综合解释。20井次现场试验、与ECLIPS-5700测井系统5口井的对比试验以及累计300多井次的现场应用表明,EILog-05成套测井装备的可靠性、稳定性、重复性以及与国外同类仪器测井结果的一致性均满足油田生产需要,能很好地判断长庆油田的“三低一高”复杂地层,对认识岩石三性关系和评价油气显示具有重要的作用。 相似文献
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微机控制多功能晶闸管逆变弧焊电源研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍了微机控制多功能晶闸管逆变弧焊电源的主要功能硬件及软件程序设计,微机主芯片采用了单片机 MCS—51,焊机能输出四种静特性,实现一机多用。 相似文献
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光波导加速度传感器是一种实用型加速度传感器,目前广泛应用制备光学加速度计的迈克尔逊、马赫—曾德等干涉仪的核心部件都包含3 dB耦合器。3 dB耦合器的设计对光波导加速度传感器的检测精度尤为重要。介绍了所设计的光波导加速度传感器的工作原理,设计了3 dB耦合器波导的结构和参数,并用光学模拟软件OptiBPM对3 dB耦合器进行模拟。结果表明:所设计的3dB耦合器具有良好性能,符合设计要求。 相似文献
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为了将再生混凝土用于骨料沥青混合料,提出了再生混凝土骨料应用于沥青混合料时最佳沥青含量的估算方法,并运用马歇尔试验予以验证,试验结果与本文建议的理论估算值吻合较好.试验还研究了不同再生混凝土骨料掺量下的沥青混合料的高温稳定性、低温抗裂性和水稳定性,分析了影响各项性能指标的因素和原因.结果表明:再生混凝土骨料沥青混合料的各项路用性能均满足国内规范要求. 相似文献
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