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电容传感器线性度标定平台 总被引:1,自引:0,他引:1
设计了一种电容位移传感器在线标定平台,用于位移的高精度调节和检测。该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴,故从测量原理上减小了阿贝误差。标定平台具有z/tip/tilt调节功能,保证了传感器的传感面和被测面板的被测面之间的装调对准。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理,采用对称平行四边形机构实现了微位移调节,基于柔度矩阵法(CMM)分析了导向机构的输出柔度和行程。试验测得动平台行程为735.162μm,和有限元法(FEM)、CMM计算结果的误差分别为7.410%和4.633%,满足行程误差要求。经过标定补偿后,传感器的线性度由0.014 21%提高至0.006 231%。实验结果显示,该线性度标定方法精度高,标定后的传感器满足位移精密调节机构使用要求。 相似文献
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数值仿真技术在古建筑稳定性评价中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
古建筑稳定评价是对古建筑实施科学、合理保护对策的基础和前提,数值仿真技术为古建筑稳定性评价提供了坚实的平台.本文从工程实践角度出发,结合北大红楼、西黄寺清静化城塔、平遥古城墙三个数值仿真技术应用的案例,浅析了数值仿真技术在古建筑稳定性评价中的工作流程和工作方法,三个案例证明了数值仿真技术在古建筑稳定性评价领域的价值和其工作特点.本文最后提出了数值仿真技术在古建筑应用中所需要解决和注意的问题. 相似文献
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压电驱动器的开闭环迭代学习控制 总被引:1,自引:1,他引:0
由于开闭环迭代学习控制方法能在加快收敛速度的情况下降低跟踪误差,本文利用该控制方法来提高压电驱动器(PZT)的高频轨迹跟踪精度。首先,提出了离散时间下的开环P型结合闭环PI型的迭代学习律,并且给出了基于该学习律的收敛性条件。然后,设计了用于PZT系统的离散开闭环迭代学习控制器。最后,针对50Hz单频和25Hz+50Hz复频三角波轨迹进行了跟踪控制实验。实验结果表明:所提出的迭代学习控制器对上述2种轨迹的最大跟踪误差分别为10.6nm和12.5nm,相对于PID控制器,分别降低了96.25%和95.62%。结果显示:提出的控制方法易于实现,无需准确的PZT迟滞和系统模型就可以获得很高的跟踪精度,能有效地满足高频和复频轨迹跟踪的精度要求。 相似文献
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