基于声波的微粒操控型微流控芯片仿真分析

利用有限元仿真软件COMSOL,对基于声表面行波(tsaw)粒子分选芯片及体声波(baw)粒子富集芯片进行了分析并加以实验验证.在仿真软件中分别模拟声表面行波粒子分选芯片的声波传播、声场形成、粒子轨迹以及体声波粒子富集芯片的声场形成、粒子轨迹,分析其运作机理,对肉眼不可见的声波、声场分布做出可视化效果.实验结果说明这两种芯片基于不同原理,都可对微米级的硅球完成可控的操作,并对于后续的器件创新和优化打下基础.