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1.
半导体碳化硅的研究现状与应用前景   总被引:1,自引:0,他引:1  
李玉增 《稀有金属》1995,19(3):204-210,217
综述了碳化硅的结构,性能与应用现状,讨论了原子层外延法生长β-SiC薄膜及液相外延法制备蓝色α-SiC发光管工艺;展望了半导体碳化硅材料的发展前景。  相似文献   
2.
文章综述了光电子材料技术的发展梗概,通过对比分析,从发展趋势上论述了MOVPE法在生产光电子技术功能材料方面的进展。尤其进入90年代中期以来,MOVPE法的应用领域拓宽,发展速度加快,对未来光电子技术功能材料的发展具有不可替代的作用。  相似文献   
3.
李玉增 《广东电子》1997,(10):13-18
综述了东南亚以及韩国等国和我国台湾省,香港等地区半导体需求迅速增长状态,指出该地区正在发民为世界电子工业产品供庆基地,半导体工业和市场发展前景看法。  相似文献   
4.
5.
阐述了新型半导体薄膜材料-金刚石和富勒烯、C-氮化硼和β-碳化硅以及聚乙烯块和聚噻吩等制备技术进展、器件应用概况和未来发展趋势。  相似文献   
6.
7.
ITO薄膜产业化进程概述   总被引:5,自引:0,他引:5  
1ITO薄膜发展概况氧化铟锡(Indium-Tin-Qxide)或掺锡氧化铟(Tin-dopedIndiumOxide)薄膜是一种重掺杂、高简并n型半导体,简称ITO薄膜。目前,ITO薄膜的电子密度ne可高达1021/cm3,电子迁移率μe在15~4...  相似文献   
8.
较为详尽地阐述了我国半导体硅材料生产的实际水平,诸如品种、质量、市场等情况,并与国外发展做简单对比,提出未来发展建议。  相似文献   
9.
赵谢群  李玉增 《稀有金属》1996,20(4):301-305
硅材料是半导体材料工业的基础,近年来市场需求不断增加,至本世纪末仍将保持稳定增长。目前硅单晶材料仍以150mm硅片为主,200mm硅片的用量已扩大至总用量的16%,产品供不应求,导致了全球性的建厂热潮。今后的发展方向是生产300、400mm甚至更大直径的晶片。生产硅片的原料多晶硅严重短缺,1996年将有所缓解。最后对1996年和1997年硅材料市场进行了预测。  相似文献   
10.
本文阐述水平三温区炉生长的掺杂(Si,Te或Cr)GaAs中位错的腐蚀观察工艺和基本原理。详细探讨了由化学腐蚀所获得的一些结果,诸如位错坑,浅坑或碟坑,沉淀物和夹杂等。  相似文献   
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