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用SiH2Cl2在3种温度下进行了多晶硅薄膜的沉积,根据膜厚计算出了沉积速率,用SEM、XRD和薄膜应力测试仪对薄膜进行测试分析.证明用SiH2Cl2在950℃时可以快速沉积用于MEMS的多晶硅. 相似文献
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异步电机的失电残余电压研究 总被引:3,自引:0,他引:3
对异步电机失电残余电压的产生进行分析;建立了异步电机失电残余电压仿真计算模型,并进行仿真计算;定量分析异步电机失电残余电压的幅值、频率及其随时间变化的关系,并进行实验研究。异步电机失压后,残余电压的频率将突变,且不断减小,其大小由转子的转速决定;失电残压的幅值与失电时刻电源的相位及电机参数等有关,并随时间衰减。仿真计算与实验测试结果一致。 相似文献
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双馈风力发电机转子绕组的状态监测与故障诊断技术能够及时发现并诊断转子绕组故障,有效地降低风电场的运行和维护费用。通过仿真分析发现转子变换器不同控制策略对故障特征信号提取的影响,建立实验平台,并通过分析实验数据验证其正确性。首先,利用PSCAD软件建立双馈风力发电机转子绕组故障模型,其中转子变换器分别采用SVPWM矢量控制和滞环电流矢量控制,通过仿真分析,得出特征信号转子电压和转子电流进行诊断的适用范围;然后在动模实验室建立转子绕组故障诊断实验平台,考虑发电机变速及交变载荷的实际工况。最后,通过对特征信号进行频谱分析验证转子变换器控制策略对其的影响。 相似文献
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感应电动机综合负荷模型是电力系统动态计算和稳定分析等的基础,已 提出了多种模型。文中从计算精度、参数获取以及应用场合等角度对3种感应电动机综合负 荷模型(即三阶机电暂态模型、一阶机械暂态模型以及一阶电压暂态模型)进行比较,为应 用和选择提供了参考依据。 相似文献