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采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO:Ga薄膜,并使用XRD、SEM、UV-VIS和霍尔测试仪等测试手段分析研究了不同功率对ZnO:Ga薄膜的结构以及光学和电学性能的影响。实验结果表明:制备的ZnO:Ga薄膜为六角纤锌矿结构,且具有明显的C轴择优取向;随着溅射功率逐渐从100W增加到175W,玻璃衬底上薄膜的结晶程度越来越高,当溅射功率超过175W时,结晶强度减弱;在可见光范围内,薄膜样品的透过率均达到84%以上,具有良好的透光性能;同时我们发现实验制得的薄膜导电率随着溅射功率的增加而加强。 相似文献
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指出了在智能交通系统ITS(Intelligence Transport System)集成化过程中,对各子系统数据或信息进行描述、共享和交换时存在的问题。通过对可扩展标记语言XML(eX tensib le M arkup Language)的技术特点及其在相关领域的应用分析,探讨了XML技术在ITS中的应用及解决方案。并以地理标记语言GML(GeographyM arkup Language)在T-G IS中的实际应用为例,论证了XML在ITS中的作用,最后提出总结与展望。 相似文献
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