MEMS应用中的的TiN薄膜工艺研究

运用反应射频溅射的方法进行了TiN薄膜的制备,通过改变关键工艺参数,如氩气氮气比、气体压力等,研究工艺参数对TiN薄膜特性的影响.论文还研究了不同退火工艺条件对薄膜应力的影响,可以实现薄膜低温退火.论文还对TiN的刻蚀和抗腐蚀特性进行了研究,对比了多种湿法对TiN的刻蚀情况,得出常温下TiN具有良好的抗腐蚀特性,并得到干法和湿法刻蚀速率.为TiN材料的MEMS应用打下了基础.     

白炭黑制备新工艺研究

研究了白炭黑新的制备技术,即采用以碳酸氢铵和水玻璃为原料制备白炭黑.在制备中的副产物可通过加入某种化学试剂低成本回收,再作为反应的生产原料,从而实现了资源的循环利用,能耗的降低和废物的零排放.该法不仅能制备出高质量优质的白炭黑,工艺简单,易形成工业化生产,而且符合绿色化工的环保思想.     

汽车驾驶员安全驾驶态度问卷的初步编制

本研究参考国内摩托车驾驶员关于交通安全的态度问卷,并结合汽车驾驶员的实际情况编制了“汽车驾驶员安全驾驶态度问卷”。通过抽取持A、B、C三种执照的391名驾驶员组成样本,并基于该样本的测量数据对问卷进行修订。经初步的修订并检验,最终构建了包含“安全驾驶态度”、“饮酒驾驶态度”、“交通规则态度”、“超速驾驶态度”、“疲劳驾驶态度”和“生命态度”六个分问卷共25个题项的问卷结构。该问卷具有较理想的信度和效度。     

白炭黑制备新工艺研究

研究了白炭黑新的制备技术，即采用以碳酸氢铵和水玻璃为原料制备白炭黑．在制备中的副产物可通过加入某种化学试剂低成本回收，再作为反应的生产原料，从而实现了资源的循环利用，能耗的降低和废物的零排放．该法不仅能制备出高质量优质的白炭黑，工艺简单，易形成工业化生产，而且符合绿色化工的环保思想．