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1.
利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构   总被引:3,自引:0,他引:3  
闫永达  孙涛  董申 《传感技术学报》2006,19(5):1451-1454
为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体“哈工大“为例说明了微纳米结构轮廓坐标的获得,并加工了实例.同时还给出了齿轮形状,各种复杂二维结构的加工实例.结果表明采用AFM探针机械刻划技术可以应用在微纳米尺度结构的加工领域.  相似文献   
2.
现代混凝土用胶凝材料早期强度高,水化速度快,水化热高,制备混凝土体积稳定性不良.采用“低用量低比表面积水泥熟料,高掺量高比表面积矿物掺合料”的技术路线制备高掺量矿物掺合料复合胶凝材料.对其胶砂力学性能进行了研究,采用等温量热法对其水化放热进行了研究,通过MIP法对其微观孔结构特征进行研究.结果 表明胶砂试件强度在早期强度降低不多的情况下,长龄期条件下强度能够持续增长,相应的水化热放热量和放热速率均有所降低,且随水化龄期的发展,从3d到180 d,净浆的孔结构发生了显著变化,微孔(<20 nm)增长显著,大孔(> 200 nm)数量明显减少.复合胶凝材料净浆的孔结构随龄期发展,大于200 nm的大孔数量减少明显,小于20 nm的微孔数量增长明显.  相似文献   
3.
极薄切削的实验研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
从切屑生成的角度,对铝合金材料加工表面粗糙度影响因素作了理论和实验分析.在现有的条件下,获得了最小切削厚度为3~5nm的切屑.并且由实验得出,在加工参数中,进给量f对切屑的生成和已加工表面粗糙度的影响程度最大.  相似文献   
4.
5.
本文利用原子力显微镜氮化硅探针对吸附在云母基底表面上的超螺旋环形pCI-neo质粒DNA成功地进行了切割操作,同时计算出探针的切割力约为40nN。同时对切割的精度和切割后样品的拾取等问题进行了深入地的分析和探讨。原子力显微镜用于生物样品的纳米级操纵对生物样品的研究具有重要的研究价值。  相似文献   
6.
介绍一种通过合理选择切削参数控制振动对超精密加工表面质量影响的新方法。通过因子实验,设计建立的振幅预测模型,研究超精密车削铝合金过程中主要切削参数,如切削速度、进给量和切削深度的变化对振动的影响。并利用优化设计中的约束变尺度法编制程度,实现了对切割参数的优选。  相似文献   
7.
基于AFM的微结构加工实验研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验,与SPI系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析,得出这个系统适合微结构的加工;并给出了采用该方法加工的1111面及多边形面微结构;还分析了金刚石针尖几何角度及SPM和工作台的相关参数对加工的影响。  相似文献   
8.
软印刷技术     
软印刷技术是基于弹性体印章/模具来转移图形结构的微纳加工技术。详细介绍了软印刷技术中转移图形结构的多种方式,并探讨软印刷技术在微纳电子学、光学、传感器、生物等领域的广泛应用。对软印刷技术的弹性体印章/模具制备、聚二甲基硅氧烷的属性、理论研究等进行了探讨。  相似文献   
9.
文中介绍采用二氧化硅微粉和锡抛光盘的行星式双面抛光法,在抛光压力100~300g/cm~2。抛光液浓度5~10wt%,抛光盘转速75~90rpm下,抛光石英基片,既可获得好的表面质量,又可保证有较高的抛光效率。  相似文献   
10.
Sn对ZrTiNiCuAl非晶合金玻璃形成能力的影响   总被引:1,自引:4,他引:1  
研究了固溶元素Sn掺杂对Zr52.5Ti5Ni14.6Cu17.9Al10非晶合金玻璃形成能力(GFA)的影响,结果发现,掺杂不同含量的Sn会使玻璃化温度Tg,晶化温度Tx不同程度地向高温移动,但对合金熔化温度Tm温度不大。当Sn的摩尔分数为1.86%时,合金玻璃化温度Tg提高了17℃,晶化温度Tx提高了36℃,从而使△Tx提高了19℃,玻璃化温度与合金熔点温度的比值Trg由0.63提高到0.65分析了Sn元素对Tg,Tx及玻璃形成能力的影响。  相似文献   
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