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1.
2.
采用X射线衍射仪和扫描探针显微镜,观察和测量了分别由大马士革工艺制备的Cu互连线和由反应刻蚀工艺制备的Al互连线的晶粒结构和应力状态.大马士革工艺凹槽中的Cu互连线受到机械应力的影响,使Cu互连线的晶粒尺寸(45~65 nm)小于Al互连线的晶粒尺寸(200~300 nm);Cu互连线(111)的织构强度(2.56)低于Al互连线(111)的织构强度(15.35);Cu互连线沿线宽方向的应力σ22随线宽的减小而增加,即沉积态和退火态的Cu互连线的σ22由73和254 MPa(4μm线宽)分别增加到104和301 MPa(0.5μm线宽).Cu互连线和Al互连线的流体静应力σ均为张应力.Al互连线的主应力σ11、σ22和σ33随Al膜厚度的减小而增加.退火使Al互连线的σ11、σ22和σ33降低,表明Al互连线中的残余应力主要为热应力. 相似文献
3.
本文主要介绍了我国目前医用塑料产业现状及发展趋势、对医用塑料材料及制品做了较为详细的报导,同时指出存在的问题并讨论对策。 相似文献
4.
指出了模糊集立论中的不足及模糊集“取大取小”运算的局限性,在测度空间中定义规范模糊集概念、运算,讨论了规范模糊集的性质。 相似文献
5.
6.
实验中采用蒸馏后增加过滤步骤,去除易燃有机物;通过焙炒后加无水乙醇,再加入过量氧化钙,除尽水分;以蒸馏装置代替蒸发皿与倒置漏斗组合装置进行升华,通畅升华气流与避免气态咖啡因溢出。结果表明:实验改进措施有利于茶叶中咖啡因的提取。 相似文献
7.
8.
介绍了GPJ60/3型加压过滤机的工作原理、结构和技术特点,以及在八一矿选煤厂工业试验的情况。试验结果表明,该机处理量大,产品水份低,能耗低,与真空过滤机相比,水份降低了10个百分点,单位面积处理能力提高了4 ̄8倍,能耗降低了2/3。具有广阔的推广应用前景。 相似文献
9.
<正> 材料、材质是机械设备、零部件寿命以及可靠性的关键性问题,也是机械制造业产品成本和煤矿设备运行费用高低的重要问题。如何减小设备、零部件的磨损,减少消耗,节约费用,除了合理设计、改善工艺、合理运行使用外,增大材料的耐磨性是一项重大技术问题,而推广应用已经出现的耐磨材料,更是应该引起普遍重视的问题。 相似文献
10.
近年来,烧结式镉镍蓄电池发展日益成熟,应用范围越来越广.在我区一些新建的110KV及以下变电站和小型电厂中基本上采用高倍率镉镍蓄电池作为直流操作电源,取代了原使用的硅整流电容储能、复式整流及铅酸蓄电池.这是由于镉镍蓄电池具有如下主要优点: 相似文献