高品质三氯氢硅中碳含量的控制

改良西门子法生产的多晶硅,其产品质量中碳杂质的一个重要来源是原料高品质三氯氢硅中的甲基氯硅烷,而四氯化硅冷氢化法生产的原料粗三氯氢硅,在精馏过程中较难脱除的甲基氯硅烷是甲基二氯氢硅和三甲基氯硅烷,在生产中,结合工艺流程优化控制方法,实现产品三氯氢硅中甲基氯硅烷的稳定控制。     

三氯氢硅精馏节能降耗措施

对一套已建成投用的三氯氢硅精馏生产装置,结合装置特点如何改造、优化操作和管理,降低能耗,获得最大效益,也是非常必要的。本文结合自身的经验,从废料回收,优化参数和控制系统及工艺技术改进等几方面进行概述。