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1.
钼薄膜作为电极和布线材料在太阳能电池和薄膜晶体管的制造中具有重要应用价值。磁控溅射作为一种制备钼薄膜的主要手段,其溅射工艺对钼薄膜的性能有着重要的影响。本文通过改变溅射电流和时间制备了具有不同形貌的钼薄膜,并对其电学性能进行了比较,从而得到了较为适合的钼薄膜溅射工艺。  相似文献   
2.
将4种组织差异较大的钼靶材在同一溅射设备,同一溅射工艺下进行磁控溅射试验,对溅射后的靶材表面及薄膜表面、截面形貌及方阻进行检测,讨论并分析靶材微观组织对溅射过程及薄膜形貌、晶向、导电性能的影响.结果表明,不同组织靶材溅射的薄膜表面及截面形貌差异较小;靶材80%的晶粒尺寸小于50 μm时,溅射薄膜沉积速率较快,方阻值的变化较小,薄膜厚度较均匀;钼靶材溅射薄膜的择优均为(110)取向,靶材组织对溅射薄膜的取向影响不大;靶材组织的晶粒均匀细小,晶界所占面积率越大,靶材减薄越均匀,靶材利用率越高.  相似文献   
3.
采用轧制方法制备Cu/Mo/Cu复合材料,利用金相显微镜、扫描电镜和电子拉伸机等研究Cu/Mo/Cu复合材料的界面结构、断裂特点和工艺参数对结合强度的影响。结果表明:轧制前经(750℃,8 min)热处理,道次变形量为55%,复合材料的界面结合紧密,最大剪切强度为77 MPa;钼层金属显微组织呈扁平纤维状,组织较为均匀,铜层金属的晶粒呈等轴状,由界面至表面晶粒逐渐增大,且分布很不均匀;复合机制为典型的裂口结合和机械啮合。  相似文献   
4.
采用磁控溅射设备和经过不同温度热处理的Mo靶材,以相同的溅射工艺参数,在Si基片上制备了Mo金属薄膜,研究了靶材的热处理温度对Mo薄膜组织和性能的影响。研究结果发现,所制备Mo薄膜均呈现(110)晶面择优取向,而靶材热处理温度的升高能够提高(110)晶面的择优取向程度。所有薄膜均为T型低温抑制生长。比较结果表明:经1 200℃热处理的Mo靶材溅射率最高(18.5 nm/min),且其溅射膜具有较小的方阻值和较好的厚度均匀性,综合性能最优。  相似文献   
5.
本文研究了不同退火温度对Mo-La2O3板材微观组织及力学性能的影响。通过金相显微镜、扫描电镜观察了钼合金显微组织及断口形貌,利用透射电镜研究了La2O3对位错分布的影响规律。结果表明,随着退火温度的升高,钼合金晶粒长大,拉伸性能、断裂韧性及显微硬度显著降低。对于退火后的试样,当La2O3粒径较大时,这种颗粒位于晶界处,在颗粒及晶界处形成位错塞积;在退火后的钼合金中,La2O3粒径较小时,绝大多数颗粒位于晶粒内部,位错越过这些颗粒,在晶界或亚晶界上形成位错塞积。  相似文献   
6.
通过自行设计的试验装置以及独特的加料系统,制备了具有连续梯度的Mo/Cu复合材料。经过样品截面体视图、金相组织、能谱扫描、密度、硬度、电导率、热导率等一系列检测分析表明,样品不但在厚度方向上Mo-Cu质量百分含量具有连续梯度,且没有明显的Mo-Cu结合界面,而且各种物理性能也存在着明显的梯度变化。这说明本文制备的样品符合连续梯度功能材料的要求,具有良好的应用前景。  相似文献   
7.
神奇的金属——钼   总被引:2,自引:0,他引:2  
详细叙述了钼金属元素的发现过程及钼工业应用的发展历史。根据钼元素的物理化学特性,阐述了钼在钢铁工业、石油化学工业、有色金属工业中的传统应用,提供了纯钼、钼基复合材料的主要用途。揭示了钼在润滑、人体、生物体、农业、医学中不可替代的特殊作用。最后,探讨了钼作为功能材料在显示器、太阳能电池、传感器、发光材料和军工等钼的新兴应用领域的作用。  相似文献   
8.
综述了Mo-Si-B合金高温氧化行为的研究进展.Mo-Si-B合金具备优异的高温抗氧化和力学性能,有可能作为更高温度下的结构材料使用.目前的研究主要集中在α-Mo-Mo3Si-Mo5SiB2,Mo5SiBx(T1)-Mo3Si -MO5SiB2和Mo5SiBx(T1)-MoSi2-MoB 3个三相区域.本文阐述了目前国内外对这3个三相区域的Mo-Si-B合金的研究进展,分析了Mo-Si-B合金抗氧化性能的影响因素和氧化机理,并提出进一步的研究方向.  相似文献   
9.
金堆城钼矿始建于1958年,半个世纪,弹指一挥间,经过几代人的不懈努力,如今的金堆城钼业集团有限公司已成为亚洲最大、世界第三的钼采矿、选矿、冶炼、加工、科研、贸易一体化的大型联合企业,是国际钼协会执行理事单位、中国有色金属工业协会钼业分会会长单位、2006年被中国矿业联合会授予“中国钼业之都”称号。其所生产的“JDC”牌系列产品蜚声国外,享誉全球。  相似文献   
10.
钼金属深加工产品现状及技术应用分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
详细介绍了国内外钼金属深加工企业产品的现状,指出了差距,重点讨论了制约国内钼金属产品品种、规格扩大及质量提高的有关技术问题,提出了几点思考和建议。  相似文献   
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