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1.
目的 化学机械抛光(CMP)包含化学腐蚀和机械磨削两方面,抛光液pH、磨粒粒径和浓度等因素均会不同程度地影响其化学腐蚀和机械磨削能力,从而影响抛光效果。方法 采用30~150 nm连续粒径磨粒抛光液、120 nm均一粒径磨粒抛光液、50 nm和120 nm配制而成的混合粒径磨粒抛光液,分别对蓝宝石衬底晶圆进行循环CMP实验,研究CMP过程中抛光液体系的变化。结果 连续粒径磨粒抛光液中磨粒大规模团聚,满足高材料去除率的抛光时间仅有4 h,抛光后的晶圆表面粗糙度为0.665 nm;均一粒径磨粒抛光液中磨粒稳定,无团聚现象,抛光9 h内材料去除率较连续粒径磨粒抛光液高94.7%,能至少维持高材料去除率18 h,抛光后的晶圆表面粗糙度为0.204 nm;混合粒径磨粒抛光液初始状态下磨粒稳定性较高,抛光9 h内材料去除率较连续粒径磨粒抛光液高114.8%,之后磨粒出现小规模团聚现象,后9 h材料去除率仅为均一粒径磨粒抛光液的59.6%,18 h内材料去除率仅为均一粒径磨粒抛光液的87.7%,但抛光后的晶圆表面粗糙度为0.151 nm。结论 一定时间内追求较高的材料去除率和较好的晶圆表面粗糙度选用混合粒径磨粒抛光液,但需要长时间CMP使用均一粒径磨粒抛光液更适合,因此,在工业生产中需要根据生产要求配合使用混合粒径磨粒抛光液和均一粒径磨粒抛光液。 相似文献
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本文介绍了高职高专院校的电气自动化专业教材建设的存在的问题,我校电气自动化专业教材建设的研究思路及具体落实措施。我校电气自动化专业教材体现出的“地方”特色等。 相似文献
3.
4.
景观设计理念在居住区中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
环境景观在居住区中发挥着重要的作用.城市人大约有2/3的时间花费在居住区中.居住区环境景观质量直接影响到人们的心理、生理及精神生活。在人们活动的步行道、广场、休息观景的空间中,创造性地设计能赋予空间一定的特色,给人留下深刻的印象。 相似文献
5.
蓝宝石衬底片化学机械抛光的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了提高蓝宝石化学机械抛光(CMP)效果,对其抛光工艺进行了研究。采用SiO2磨料对蓝宝石衬底片进行抛光,分析了抛光时的温度、pH条件、磨料粒径及浓度,结果表明,采用80nm大粒径、高浓度的SiO2磨料,既可以保证抛光速率,又能得到良好的表面状;当pH值在10~12时,可加速蓝宝石在碱性条件下的化学反应速率,从而提高抛光速率;在30℃时,能较好地平衡化学作用与机械作用,获得平滑表面;加入适量添加剂,可增大反应产物的体积,易于提高机械作用的效果,以获得较高的去除速率。 相似文献
6.
7.
为了确保压力容器的安全运行,除正确选择材料外,合理进行热处理工艺,掌握金属材料热处理的基本知识,对于提高压力容器产品质量、改善工艺性能、充分发挥材料的性能潜力都是十分重要的。通过对热处理的基本知识的了解并结合应用实例,对相图在压力容器用钢热处理中的应用进行了分析和讨论。 相似文献
8.
油气勘探开发协同工作环境建设与应用 总被引:1,自引:0,他引:1
油气勘探开发协同工作环境是近年地学研究与信息技术结合的前缘领域,其建设目标是实现勘探开发多学科、多层次、多业务对象、多业务阶段的协同工作和成果共享,提高油气勘探开发决策效率和成功率。中国石油统一建设的"勘探与生产技术数据管理系统"(A1系统)在数据库建设与服务、主流软件协同、项目研究成果管理与共享等方面取得的成果,满足了勘探开发协同工作的需求,在大庆油田、大港油田等单位的实际应用中得到完善并取得了良好效果。 相似文献
9.
寒地城市低碳型园林建设探析 总被引:1,自引:0,他引:1
低碳型园林建设,是在全球气候变暖的大背景下应运而生的概念。在日趋恶劣的生态环境和日渐枯竭的化石能源的背景下寻找到了园林建设的新思路。本文基于低碳的理念,在园林建设的资源及要素分析的基础上,对寒地城市低碳型园林的建设进行一些探讨。 相似文献
10.
在电网调度仿真系统中实现了对电压稳定性的分析.利用非线性规划法建立了一个计算电压静稳极限的模型,该模型全面考虑了发电机有功出力和无功出力约束,发电机有功出力再分配和负荷的电压特性等问题.改造了仿真系统中的动态稳定计算程序,使之不但适于功角失稳仿真计算,而且也适于电压失稳仿真计算. 相似文献