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阳极氧化的Ta_2O_5薄膜内击穿过程中微孔的形成 总被引:1,自引:0,他引:1
通过重复阳极氧化实验,研究了钽的阳极氧化过程中的击穿损伤。本文介绍一种解释,假设由于击穿过程产生非短路微孔的形成。根据此模型计算损伤面积的大小和微孔的深度。 相似文献
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利用组合的二次回归正交实验设计方案 ,对钽低温离子渗氮条件下 ,表面物相及固溶体中氮的含量随渗氮温度、气氛总压力和氢氮摩尔比的变化进行了系统研究。发现表面渗氮层由化合物Ta6N2 .57、超晶格TaN0 .1和固溶体相组成。氮在钽中的固溶度随气压、温度和氢摩尔分数的增加而增加 ,化合物和超晶格相含量随温度增加而增加 ,同时化合物相随氢摩尔分数增加有一个极大值 ,该极大值随温度增加而下降。 相似文献
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分形理论是现代科学研究领域中一种重要的数学工具和手段。本文介绍了分形及分形维数的相关概念,重点讨论了分形理论在材料科学,如材料磨损表面分析、材料断裂表面分析、材料烧结与氧化过程、材料凝固和相变过程等方面的应用。 相似文献
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等离子体对钽表面渗氮处理的影响 总被引:5,自引:1,他引:4
采用SEM,XRD等手段对钽在氢与氮等离子体中形成的表面层进行了分析,试验表明,在外界参数相同的情况下,H N等离子体的存在改变了Ta表面在H-O-N气氛中的反应路径,使反应产物由无等离子体时的Ta2O5变成了Ta6N2.57,因此处理后的表面粗糙度比无等离子体时下降了一个数量级;对等离子体的作用机理进行了探讨,认为是等离子体的存在改变了介质成分和Ta表面附近的“阴极鞘层”与Ta表面相互作用抑制了粗糙的Ta2O5形成。 相似文献
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