一种基于光散射原理在线测量晶圆表面质量的方法

在半导体工业中,晶圆表面质量的检测占据着重要的地位。选择粗糙度参数轮廓算术平均偏差R。作为衡量表面质量的参数,根据晶圆的一般粗糙度范围（Rα为0.01—0.8μm）,构建了一种基于光散射原理的视觉系统测量装置。通过分析光散射强度分布图像,提取出一些参数来表征Rα,达到检测晶圆表面质量的目的。给出了初步的实验结果,说明了此方案是可行的。     

基于加权最小绝对值的大电力系统潮流可行解优化恢复方法

电力系统基本潮流无可行解时,通常只能根据经验以人工对可调的负荷出力进行反复调试才能获得一个较接近初始状态的新可行解。为了在恢复潮流可行解的同时,找到原运行方式中导致无解的症结,以节点注入偏差量绝对值最小为目标,提出了一种新的潮流恢复实用模型,并采用原—对偶内点法求解。对IEEE标准系统及实际超大电网系统的仿真表明该模型有效,优化结果可以较好地辨识出导致原运行方式无潮流可行解的节点出力和负荷,计算效率已达到实际应用水平。     

基于动态负荷预测的配电网动态状态估计方法

随着相量测量单元(PMU)在配电网中的逐步部署,配电网动态状态估计逐渐成为智能配电网中的一个重要研究课题.为改进电力系统动态状态估计算法状态预测环节,通过负荷预测模型预测电力系统运行状况;将各节点负荷作为扩展状态变量,负荷预测结果作为新增量测,建立等式约束关系;在容积卡尔曼滤波(CKF)算法框架下,提出基于动态负荷预测...     

可见到近红外波段整层大气透过率的测量

通过测量太阳辐射值计算整层大气透过率的方法简单易行且精度高。利用自行研制的整层大气透过率仪测量可见到近红外波段的太阳直接辐射连续光谱,在可靠定标的基础上,推算出实际天气条件下的整层大气光谱透过率。利用Langley-plot方法对整层大气透过率仪进行标定,得到了仪器标定结果和不同时刻整层大气透过率随波长变化的曲线。将计算得到的整层大气透过率与太阳辐射计PGS-100的测量和MODTRAN计算的结果分别进行了比较,发现有较好的一致性,从而证明整层大气透过率仪设计合理,测量数据可靠。     

电力系统微分代数模型的奇异性和多能量函数面(续完)

(上接本刊2006年第11期第34页) 4 一种动态负荷模型下的算例 仍以图1所示系统为研究对象,考虑如下动态负荷模型:PL=P0,QL=Q0 KV,即有功功率采用恒功率模型,无功功率采用一阶电压变化依赖的模型,它近似描述了感应电动机的动态特性[21].这时系统DAE模型中的式(12)变为微分方程,式(11)仍保持代数方程.从某种角度来说,可把该模型视为一种介于纯粹的DAE模型和奇异扰动模型之间的"半"扰动形式,下文借此来考察奇异扰动的影响.     

基于广义多项式混沌法的电力系统随机潮流

近年来,随着风、光电源的大量接入,系统运行的不确定性增大,考虑了系统运行随机因素的随机潮流受到更广泛的关注。提出了一种基于广义多项式混沌法的电力系统随机潮流计算方法。该方法利用广义多项式混沌法的正交多项式逼近思想,将系统的随机性分离至正交多项式基,并利用直角坐标潮流方程的二次性避免非线性潮流方程展开的高阶截断误差,进而利用随机Galerkin法,将随机潮流方程转换为一组确定性方程,通过此方程的求解获得随机潮流状态变量的正交多项式逼近系数,由此系数可获得相关变量的期望和方差,并可结合蒙特卡洛仿真,获得变量的概率密度。IEEE 9节点系统的算例表明,该方法的计算误差大致随多项式逼近阶数的上升而指数下降,通常条件下三阶逼近即可获得较高的精度,具有比蒙特卡洛仿真法更高的计算效率。     

表面特性光学实时检测的理论和实验研究

针对精密磨削加工中冷却液的使用使得工件表面的光学实时检测非常困难这一问题,提出了一种在冷却液环境下借助特制"透明窗"装置的光学方法。此方法使被测表面上方出现附加层,分别对附加层中的液体处于静止和流动状态时的情况进行了理论分析和实验研究。对于静态液体,利用修改的B-K(Beckmann-Kirch-hoff)散射模型,从采集到的散射光强分布图中提取出一比值参数,通过参数拟合得到表面粗糙度和比值参数间的关系曲线。对于动态液体,分析光束在流体层中的传播特性,计算通过流动液体层的光束偏移量。结果表明:静态液体时,垂直于散射光带主方向的比值参数能够用来衡量表面轮廓算术平均偏差粗糙度,它们之间可以用explinear函数拟合;动态液体时,通过流体层的光束偏移量非常小,只有0.494×10-5μm。可见,液体的流动对于光学实时检测的影响非常小,液体处于静止状态时的测量结果可以作为表面特性实时检测的最终结果。     

翼伞组提带张力传感器的有限元分析

翼伞在民用、军事、航空领域有广泛的应用,尤其在新冠疫情爆发期间,翼伞在物资投放中发挥了重要的作用。翼伞的组提带张力对其飞行的安全性以及着陆地点的精确性至关重要。为实现翼伞组提带张力的测量,设计一种工字型无线张力传感器结构,可解决现有张力传感器存在的量程不足、会破坏组提带结构等问题。运用SolidWorks设计弹性装配体模型并导入ANSYS Workbench18.0,对其进行静力学分析,选取传感器材料并找到应变片最佳的粘贴位置,对该传感器模型进行静力学仿真和模态分析,分析结果证明该传感器结构的可行性。     

电网断面热稳定限额计算模型及方法

分析了电网预想开断前后设备组(并联运行的线路或并列运行的主变压器)的有功潮流变化情况。通过剩余/转移系数将预想开断后的设备组有功潮流表示为设备组初始有功潮流的线性函数。依据设备短时、长期运行载流量确定设备组初始有功潮流的约束条件,根据设备组热稳定限额与初始有功潮流的最小比值最大原则,提出了设备组热稳定限额的优化计算模型。运用线性规划单纯形法进行求解,并通过分岛计算提高算法的执行效率。根据用户定义的断面集,对设备组的热稳定限额进行叠加,给出断面热稳定限额。浙江电网的实际算例结果验证了所述模型的正确性和求解方法的有效性。     

考虑量测异步问题的配电网混合量测融合估计方法

针对目前电力系统中PMU量测与SCADA量测长期共存但难以同时使用的现状,引入无迹卡尔曼滤波算法实现混合量测的融合估计。分析混合量测非同步性误差,通过基于PMU的量测变换与相似度序贯对比实现异步量测的同步化;为了解决UKF算法因噪声协方差矩阵偏离实际值而导致滤波效果下降的问题,提出了一种考虑量测异步的鲁棒无迹卡尔曼滤波(RUKF)算法,该滤波算法利用UKF滤波过程的残差矩阵与新息矩阵实现对噪声协方差矩阵进行更新。通过IEEE 30测试系统对RUKF算法进行仿真验证,测试结果表明RUKF算法能够有效跟踪系统波动,降低异常噪声的影响。