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碱金属蒸汽腔是芯片原子钟(CSACs)中重要的核心部件之一,其微型化制造具有重要的实用价值,同时也非常具有挑战性。采用MEMS 技术批量化制作了具有双腔结构的芯片原子钟87Rb 蒸汽腔阵列。在阳极键合过程中,通过原位化学反应产生纯净的87Rb 元素蒸汽,缓冲气体(N2)采用反充的方法充入到87Rb 蒸汽腔内以保证缓冲气体的压强可以精确的控制。所设计的双腔结构可以防止原位化学反应中产生的杂质阻挡光路,从而能够提高探测到的光信号的强度。通过原子钟桌面系统测试,得到了87Rb 元素D1 线的光学吸收谱和用于芯片原子钟锁频的误差信号,在90℃时,87Rb 元素D1 线纠偏信号的线宽(波峰与波谷间距)可达到0.53 kHz。测试结果表明,双腔结构的87Rb 蒸汽腔满足芯片原子钟或其他芯片级原子器件的设计要求。 相似文献
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芯片级原子钟的气密性能分析 总被引:1,自引:0,他引:1
基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳定性和寿命。建立了一个"毛细管等效气流模型"模拟多层缓冲原子腔的泄漏以分析原子腔的气密性能,应用Matlab仿真对比了单层密封、多层密封、添加保护腔等不同方式下气密性能的改善幅度。仿真结果验证了"多层缓冲原子腔"在提高CPT CSAC物理系统气密性能方面的可行性和有效性,为原子腔的设计提供指导。 相似文献
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攀钢钒新3号高炉是钒钛磁铁矿冶炼技术首次应用于2000 m3级高炉,在6年多的生产实践中,各种操作制度通过不断地摸索,目前已掌握了大高炉冶炼钒钛磁铁矿的冶炼规律。本文就其精料工作、上下部调剂、特殊炉况处理等方面进行了系统的阐述,初步说明了大高炉冶炼钒钛矿各项操作制度的调剂方向。 相似文献
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本文从计算机发展的趋势,阐述了信息电器这一全新概念及其在信息产业中的重要作用,以及中国IT业有信息电器产业中面临的挑点与机遇。 相似文献
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