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1.
无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制   总被引:2,自引:1,他引:1  
目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为:金属离子螯合剂体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0.1%;清洗剂温度30℃,清洗剂流量3 L/min。优化的复合清洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度,对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。结论优化的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正,研究成果对提高大规模生产中晶圆的成品率有一定的指导作用。  相似文献   
2.
以丙酮为碳源,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术在钽衬底上制备p型硼掺杂金刚石(BDD)薄膜电极。在BDD电极制备过程中,碳源体积分数对它的质量和性能影响很大。利用AFM和XRD分析了丙酮体积分数对BDD电极表面形态和成膜质量的影响。利用循环伏安法研究了采用不同体积分数的丙酮沉积的BDD电极对电化学窗口和背景电流的影响。分别采用BDD电极和不锈钢片作阳极和阴极电解K2SO4溶液,并利用KMnO4滴定法检测BDD电极的氧化效率。结果表明,优化丙酮体积分数可以提高BDD的均匀性和附着力。合适的丙酮体积分数所制备的BDD电极具有电化学窗口宽、背景电流低和电极氧化效率高等特点,有很好的应用前景。  相似文献   
3.
电压和电极间距对BDD电极电化学氧化效率的影响   总被引:2,自引:0,他引:2  
掺硼金刚石(BDD)薄膜电极具有很宽的电势窗口、很小的背景电流、很高的电化学稳定性、其电化学响应在很长时间内保持稳定以及耐腐蚀等优点。采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法制备掺硼金刚石薄膜,并用金相显微镜、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)这三种测试方式进行表征。BDD薄膜电极在电解过程中消耗很多能量。从提高氧化效率来降低能耗的角度出发,研究了电压及电极间距对BDD薄膜电极电化学氧化效率的影响。通过实验得出电压在5~13 V时电化学氧化效率会随着电压的升高而升高;电极间距在0.5~4 cm时电化学氧化效率随着电极间距的增大而降低。  相似文献   
4.
通过低磨料浓度下催化反应对铜膜抛光速率的影响,证实了纳米SiO2胶体作为催化反应物可以极大地提高铜膜表面的化学反应速率。通过浸泡在不同磨料浓度抛光液中的铜电极表面腐蚀电位和腐蚀电流数值,进一步证实了催化反应能够加速凹处钝化膜的生成,并确定了在静态腐蚀条件下催化反应速率转换临界点所对应的纳米SiO2溶胶浓度为0.1vol%和1vol%。根据催化反应对铜晶圆各平坦化参数的影响,确定了低磨料CMP的最佳纳米SiO2溶胶浓度为0.3vol%,此时铜晶圆的抛光速率、台阶消除量、平坦化效率、碟形坑高度和腐蚀坑高度分别为535nm/min、299nm、56%、103nm和19nm。  相似文献   
5.
自感知执行器—传感器、执行器集成新概念   总被引:12,自引:0,他引:12  
总结了传感器与执行器集成的两种方式,即结构集成和功能集成,功能集成就是自感知执行器,如果待测信号能从执行器的控制信号中分离出来,理论上讲基于电磁耦合和机电耦合等可逆效应的换能器都可作自感知执行器,重点分析了压电材料作自感知执行器的物理基础,基于应变速度电桥电路制成了压电陶瓷自感知执行器,实验表明能有效抑制悬臂梁的振动。  相似文献   
6.
工程监理经过十几年的发展已形成了一定的规模,取得了明显的社会效益和经济效益.随着建筑市场的进一步发展,也出现了很多问题和误区.按照市场运行规律,工程监理必然要向工程项目管理发展.文章探讨了工程监理与工程项目管理之间的关系,以及发展过程中应具备的条件.  相似文献   
7.
杨志欣 《华中电力》2006,19(6):44-48
电网建设不断向前发展,EMS系统的重要性也日益提高。数据是EMS系统的根本,如何更好地利用系统先进的硬件配置和高档软件,做好数据存储规划非常必要。我局配合新的EMS系统建设,就系统的数据存储专门立项,在全省范围内率先开展了EMS系统的数据存储规划。其工作分为两个方面,一方面是对磁盘阵列的规划,即决定采用何种RAID技术及合理分配磁盘空间,另一方面是对数据库的总体规划。通过该项目的实施,确保了系统软硬件的良好配合,磁盘容量的高可用率和高可靠性,数据存储的科学胜和可持续性,有力地保证了EMS系统的高效、优质、安全运行。  相似文献   
8.
化学机械抛光后,Si片表面残留有机物会影响清洗的综合效果,并会造成器件失效。针对上述问题提出了一种新的清洗方案,用金刚石膜电化学法制备氧化性强的过氧焦磷酸盐溶液,可有效氧化分解表面有机沾污,配合FA/O I型活性剂溶液进行预清洗,去除表面颗粒的同时降低了表面粗糙度。此外,过氧焦磷酸盐被还原成的焦磷酸盐具有很强的络合力,它能与Cu等金属离子络合,达到同时去除金属杂质的目的。研究了氧化液的体积分数对有机物清洗效果的影响,发现氧化液的体积分数为60%~100%时残留有机物去除效果最佳。作为一种新型的清洗方法,清洗效率高且成本低,操作简单可控且环保,符合新时期半导体清洗工艺的要求。  相似文献   
9.
本文深入剖析解放思想与反腐倡廉的相同之处及内在联系,将二者有机结合起来,从力度、制度、态度上提出了通过进一步解放思想、促进党风廉政建设的一系列有力措施。  相似文献   
10.
用电荷控制可以补偿压电执行器的位移迟滞,文中在分析几种电荷控制方案不足的基础上,提出了集电压驱动和电流积分器为一体的驱动方法,积分器能获得压电电荷,却不影响驱电压,为补偿压电漏电,给积分器增加了漏电流补偿电阻,基于此驱动电路可实现电荷控制,文章用于开环位移监测和闭环PID控制的线性位移跟踪,证实了该电荷控制方法的有效性。  相似文献   
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