集成式压电驱动微操作手的位置控制研究

微操作手是微操作机器人的核心部件 ,文章介绍了作者研制的压电陶瓷管驱动三自由度集成式微操作手 ,在此基础上 ,研究了微操作手的位置闭环控制 ,提出了模糊 -比例积分控制方法 ,并通过实验获得了较好的控制效果。通过对微操作手进行动静态测试得到微操作手的性能指标 :操作手末端 X、Y轴的最大输出位移为± 8.5μm,重复定位精度为 2 8nm ,位移分辨率为 10 nm ,动态阶跃响应时间为 5 m s;Z轴最大输出位移为 6 .2μm ,重复定位精度为 17nm,位移分辨率为 4 nm ,动态阶跃响应时间为 5 m s。该微操作手能够实现纳米级微动定位 ,满足微操作要求     

Modeling for integrated micromanipulator

~~Modeling for integrated micromanipulator@荣伟彬$Robot Research Institute,Harbin Institute of Technology!Harbin 150001,China @曲东升$Robot Research Institute,Harbin Institute of Technology!Harbin 150001,China @孙立宁$Robot Research Institute,Harbin Institute of Technology!Harbin 150001,China @楼朝飞$Robot Research Institute,Harbin Institute of Technology!Harbin 150001,China @蔡鹤皋$Robot Research Institute,Harbin Institute of Technology!Harbin 150001,China~~Spon…     

基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究

根据仿生学原理,采用分立式布局,研制出大行程高分辨率旋转微驱动器.该微驱动器采用电磁铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式,实现了光学镜面的二维微调整操作.实验表明,该微驱动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点,也适用于其它微操作中大行程高分辨率的旋转驱动.