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基于MEMS工艺的电热致动器具有与集成电路兼容的驱动电压、大的致动位移和致动力,比静电致动器、压电致动器和磁致动器有更大的优势,是现阶段致动方式的研究热点.高精度、高可靠度、可控和稳定性好的电热致动器是未来研究的新方向.针对MEMS微加工工艺制作的固体材料电热致动器,综述了电热致动器的结构形式、典型应用、模型建立以及测试方法的研究现状和主要研究成果.对电热致动器的结构设计、建模分析和测试技术方面的关键技术和存在的主要问题进行了分析和展望,以期为基于MEMS工艺的电热致动器的设计、分析和测试提供借鉴和参考. 相似文献
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利用复合梯形积分法,假设接触区域宽度方向上压力服从半椭圆分布,以理想线接触条件下的接触区域长宽比作为初值,结合求解滚子与滚道接触问题的影响系数法,迭代求解了理论对数凸型方程。通过将接触区域长宽比设为无穷大时的数值解轮廓与Lundberg对数凸型轮廓及两轮廓下接触压力分布情况作对比,验证了数值解的准确性。分析了不同接触区域长宽比条件下,数值解轮廓、Lund-berg对数凸型轮廓与工程对数轮廓及3种轮廓下的接触压力和接触区域,比较得出如下结论:从轮廓中部到两端,Lundberg对数凸型轮廓与数值解轮廓的偏离量逐渐增大;随着接触区域长宽比的减小,前者轮廓与后者轮廓的偏离量逐渐增大,Lundberg对数凸型轮廓在接触区域端部有逐渐脱离接触的趋势,且在端部附近出现逐渐明显的压力非均匀分布现象;与Lundberg对数凸型轮廓相比数值解轮廓不仅改善了压力分布状况,而且能够得到端部连续的轮廓曲线;通过比较可知,工程对数轮廓的修型量偏大,滚子实际有效长度有所减小。 相似文献
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热致动硅微夹钳实验研究 总被引:2,自引:0,他引:2
利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试微致动器在空载和驱动工况下的输出位移大小,提出了一种通过公式换算间接确定硅微夹钳驱动力的方法.实验结果表明,电热致动器驱动的硅微夹钳具有很好的电压可控性,最高工作电压可达25V.硅微夹钳的开合位移依热致动器的规格不同在0.7~4μm之间. 相似文献
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针对电热致动器在交流电作用下承受交变温度载荷而发生热疲劳失效的现象,分析热疲劳失效机理。建立电热致动器的瞬态温度分析模型和力学模型,实测致动位移,实测位移与理论计算、有限元仿真结果一致。温度和应力计算表明,结构形式和施加的电压直接影响致动器的温度分布和应力大小,因最大应力小于屈服强度极限而不会发生应力引起的疲劳失效。测试交流电作用下致动位移和循环次数的关系,试验结果和理论计算表明,温度低于脆性-韧性转换温度,电热致动器不发生热疲劳失效,否则在长期循环后会发生热疲劳失效。300~600℃的温度对电热致动器的工作最有利,在此温度范围内能够精确稳定地提供数千万次的致动循环。根据失效现象,分析热疲劳失效机理,得出高温变形是引发热疲劳失效的直接原因,交流电压的幅值和频率对热疲劳的作用都能统一到温度上。 相似文献