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采用厚膜混合集成技术实现了硅微机械加速度传感器工程样机。介绍了厚膜混合集成电路工艺的原理和特点、传感器的结构和工作原理,研究了信号提取和处理方法,优化了反馈控制校正电路网络,利用电容转换专用集成电路,通过厚膜技术组装了工程样机。实验结果表明:该单片加速度传感器具有较高的精度和零偏稳定性。 相似文献
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双质量硅微陀螺仪驱动模态测试 总被引:1,自引:1,他引:0
考虑双线振动双质量硅微陀螺仪环境适应性强且两个质量块的差动输出能够有效消除共模干扰的影响,提出了一种新型双质量陀螺仪。依据双质量硅微陀螺的结构和工作原理,对该陀螺的驱动模态进行了理论分析,并提出了简化的动力学方程。利用ANSYS有限元软件对陀螺的驱动模态进行了数值仿真,并对陀螺仪样品进行了电路测试。通过几种不同的加载方式,分别得到了相应的仿真和测试的幅频曲线,结果表明,仿真和实验结果与理论分析完全一致,且双边驱动方式要优于单边驱动方式,反向驱动方式可以使陀螺仪在工作模态运动。仿真和实验结果验证了双质量硅微陀螺的驱动模态特性。 相似文献
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局部放电混合信号的盲分离 总被引:1,自引:0,他引:1
气体绝缘组合电器(GIS)内部结构的复杂性和绝缘缺陷类型的多态性导致可能同时存在多种绝缘缺陷。为此对两种组合绝缘缺陷产生的局部放电(PD)混合信号进行了分离研究,针对PD混合信号的特点,提出采用非平稳源分离(SONS)算法,对由两种单一实测绝缘缺陷产生的PD信号构造的人工PD混合信号和实测的两组PD混合信号进行了分离,并用分离评价参数性能指标(PI)和信号干扰比(SIR)对分离效果进行了评价,结果表明,该分离方法能可靠地进行分离,有效恢复各单一PD源信号。同时,该分离算法可推广应用到两种以上PD混合信号的分离,为后续对组合绝缘缺陷的缺陷辨识提供方便。 相似文献
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