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开发了一种基于电镀铜锡合金薄膜的绝压气压传感器圆片级气密封装技术以降低常规的基于阳极键合气密封装技术的成本及难度。通过实验确定了铜锡合金薄膜的电镀参数,实现了结构参数为:Cr/Cu/Sn(30nm/4μm/4μm)的铜锡合金薄膜;通过共晶键合实验确定圆片级气密封装的参数,进行了基于铜锡材料的气密封装温度实验。通过比较各种不同温度下气密封装的结果,确定了完成圆片级气密封装的条件为:静态压力0.02 MPa,加热温度280°,保持20min。最后,对气密封装效果进行X-射线衍射谱(XRD)、X射线分析、剪切力以及氦气泄露分析等实验研究。XRD分析显示:在键合界面出现了Cu3Sn相,证明形成了很好的键合;X射线分析表明封装面无明显孔洞;剪切力分析给出平均键合强度为9.32 MPa,氦气泄露分析则显示泄露很小。得到的结果表明:基于电镀铜锡合金薄膜可以很好地实现绝压气压传感器的圆片级气密封装。 相似文献
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对于广泛应用于工业生产的气/固两相流,研制较好的仪器来测量其参数显得尤为重要。而且国内外许多学者都在致力于气/固两相流甚至多相流的研究,并取得了长足的进展。本文在简要介绍现阶段测量气/固两相流流型方法的前提下,提出一种新的判断气/固两相流流型方法。即基于概率密度定义,利用测量信号的均值进行直接判断。 相似文献
5.
茂金属线型低密度聚乙烯的结构表征 总被引:1,自引:0,他引:1
采用凝胶渗透色谱、核磁共振碳谱、差示扫描量热法、连续自成核退火热分级和升温淋洗分级等方法表征了利用两种茂金属催化剂生产的线型低密度聚乙烯产品(简称mPE-1,mPE-2)的结构及性能。结果表明:mPE-1和mPE-2的相对分子质量及其分布、密度等性能较为接近,其中,mPE-2的光学性能、力学性能优于mPE-1,但是mPE-2中支链分布的均匀性稍差,mPE-2中支链少的高相对分子质量链段含量比mPE-1高,而支链多的低相对分子质量链段含量比mPE-1低。 相似文献
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黑龙江流域是个多民族的聚居区,特殊的自然环境、不同的民俗文化习惯和宗教信仰使这一地域的少数民族美术呈现出自然朴拙、粗犷豪迈的审美特征。本文对黑龙江地域少数民族审美模式形成的原因进行初步的探究。 相似文献
7.
本文介绍了代建制在南水北调中线干线工程实践应用情况,并从代建项目选取、代建单位选择、代建奖惩机制、代建权利维护、代建监督管理等方面为下一步在南水北调中线干线工程大力推行代建制提出了针对性的建议,为代建制在水利水电工程建设领域应用研究进行了有益的探索。 相似文献
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王晓蕾 《化学工业与工程技术》2013,34(1):40-43
从安全生产角度出发,提出在苯胺装置设置独立的紧急停车系统(ESD)。作为安全保护系统,其权限优先于生产过程控制,实时在线监测装置的安全性。首先阐述了采用ESD的背景,然后对现有苯胺装置的生产状况和自控水平进行了介绍,提出采用ESD的必要性,最后从ESD系统设计选型、ESD功能及特点、切断阀的选用以及ESD联锁设计中需要注意的几方面详细介绍了苯胺装置紧急停车系统的设计选型与应用。 相似文献
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基于静电传感器空间滤波法测量固相速度 总被引:1,自引:0,他引:1
以点电荷为例,计算静电感应电极上感应电荷的表达式,点电荷在测量区内运动,根据电极的幅频响应,并将感应电荷表达式看作门函数,得到空间滤波法测速原理,并且在整个频率范围内对测速原理进行推广。利用信号频谱分析中的特征频率建立空间滤波测量速度,其可以用于静电传感器测量气/固两相流的流动速度表达式。采用自谱密度的转换矩阵,对静电传感器输出电压信号作自谱密度分析,得到其频谱特性,找到特征频率(峰幅频率)完成速度测量。通过实验验证其方法是可行的,并通过实验来校正比例因数和校正因子。 相似文献