空心阴极离子镀氮化钛

本文进行了空心阴极离子镀氮化钛工艺试验。内容包括:氮化钛涂层沉积速率与蒸发功率、基板负偏压的关系;氮化钛涂层组织形貌、晶体构造、晶格常数及硬度与沉积工作气压及氮气分压的关系。制定了在高速钢刀具上沉积氮化钛涂层的工艺。刀具寿命试验表明,高速钢刀具沉积氮化钛后寿命提高。