超精密非球面磨削实验系统建模及实验

超精密磨削加工已广泛应用于轴对称非球面光学元件及硬脆材料的加工中，加工过程中砂轮的不平衡量和机床主轴引起的砂轮微小振动和摆动将直接影响工件表面质量：本文分析了加工过程中产生的微振动现象，建立磨削中振动引起工件表面轮廓误差的数学模型；没计一套微振动实验系统，建立系统动力学模型并进行实验研究。实验结果表明：优化选择砂轮转速、工件转速和加工进给速度，可有效减小砂轮振动，提高工件表面精度。     

高频窄脉冲电化学光整加工工艺特性研究

阐述了高频窄脉冲电化学光整加工原理;比较了其与脉冲电化学加工的区别与联系;通过实验,研究及分析了电流密度、加工间隙、工件材料、加工时间及脉冲参数等因素对加工后表面质量的影响.实验结果表明:在合适的工艺参数情况下,高频窄脉冲电化学光整工艺可大幅度提高加工效率,获得镜面级的表面质量,并能降低加工成本.     

高精度非球面加工双轴动平衡监控技术研究

提出一个智能型双轴动平衡监控系统, 针对高精度加工中工件和工具的振动会相互作用而影响加工效果,该系统同时对砂轮主轴和工件主轴进行平衡,集中处理工具和工件的振动数据,综合分析整个加工系统的平衡效果及工件的表面误差情况,从而达到减少工件加工误差,降低设备磨损,提高磨削加工精度的目的。实验结果表明,对振动数据的分析是正确的, 可实现高精度的非球面加工。     

虚拟式多功能时频分析系统的研究与开发

介绍了典型的时频分析方法及所研发的虚拟式多功能时频分析系统。该仪器系统功能十分强大,主要包括:零相位数字滤波、短时付氏变换、多分辨时频分析、魏格纳分布、乔伊威廉斯分布、小波和小波包阈值滤波、二进小波及小波包正交分解、连续小波变换等。文中逐一介绍各主要功能的基本原理。给出了仪器的开发、设计、仿真及其应用实例。值得一提的是,在分析极大极小尺度共存信号时,作者所提出的多分辨时频分析方法比其它经典时频分析方法有明显的优势。     

改进型分布重复投影光刻机

分布重复投影光刻机(DSW)的精度和工作效率直接影响到大规模集成电路生产工艺的特殊要求。为了提高DSW的精度和效率,研究和运用了先进运动控制技术,使光刻工作台定位精度小于±0·5μm;同时应用视频网络技术,实现了远程交互式工作方式。根据要求,完成了DSW的各系统模块的设计,并且开发了基于PC的应用软件。实验结果表明,该改进型DSW体现了较高的应用价值。     

非轴对称非球面平行磨削误差补偿技术研究

针对非轴对称非球面的成形加工法柔性不足及球形砂轮加工法对工具和机械的要求太高的缺点,提出采用普通圆弧金刚石砂轮加工的平行磨削法。对于新方法加工中存在的加工误差问题,提出在非轴对称非球面加工中使用带倾角圆弧修整器及对主轴半径和副轴半径误差采用离线补偿的加工技术。通过理论分析和试验表明此方法可达到提高非轴对称非球面的加工精度的效果。     

超精密平面研磨加工速度对精度的影响

为了提高加工精度和减少研磨轮磨损,对研磨加工过程中的加工参数进行分析.针对目前常用的两种不同结构砂轮(放射线研磨轮以及螺旋线研磨轮),采用加工精度系数和砂轮磨损系数的概念描述加工精度与砂轮磨损,并提出相应的数学模型,以分析加工参数与工件精度及研磨轮磨损的关系.着重探讨了研磨轮与工件相对速度变化对加工精度的影响.通过理论分析与实践表明:优化设计砂轮的结构、合理选择加工参数,可以实现提高研磨加工精度及降低砂轮磨损的目的.     

YK7432剃齿刀磨齿机数控方案研究

本文通过对国外最新几种数控大平面砂轮磨齿机的发展情况分析，充分利用现有国产数控系统的前提下，开发了实用控制系统，达到国家七五技改项目的要求，通过新产品鉴定，获得良好效果，为进一步发展全功能数控提供了依据。     

杯状砂轮修整器对CBN砂轮的修形及磨削

研究杯状砂轮对陶瓷ＣＢＮ砂轮的修形,及修形后磨削高速钢和软钢的加工特性。通过研究得出,磨削高速钢时砂轮磨粒磨损和切屑附着、磨削软钢时砂轮表面发生堆积物熔着是砂轮磨耗的主要原因。