现行圆柱度测量方法分析及采样方案新策略

在对新一代产品几何技术规范GPS(geometrical product specification)采样要求分析的基础上,采用现有仪器对样品轴的圆柱度进行多组实测,同时结合计算机模拟分析,深入探讨现行测量方法的局限性和存在问题,即现有的仪器和现行的测量方案难以满足GPS采样规范隐含的采样面密度和采样频率要求.计算机模...     

点状屏彩色显示管校正透镜优化设计

本文在条状屏彩色显象管校正透镜设计的基础上，提出了蹼状屏彩色显示管校正透镜的优化设计方法并给出了设计实例，通过计算机模拟电子束轨迹和光线追迹，分析了校正透镜面型修正程序的精度。     

条纹计数式干涉测长仪的闲区误差及其全误差实时补偿

本文根据参考文献中导出的全误差分布公式,再次论述了“闲区误差”的物理本质及特点,业提出了可供实用的全误差实时补偿公式及其可能获得的效果。     

基于调制度分割的物体轮廓有效测量区域自动识别方法

提出了采用调制度阈值分割技术进行物体轮廓有效测量区域自动识别的一种新方法,克服了投射条纹三维测量技术中由于阴影、条纹断裂、局部镜面反射、暗背景、采样不足以及外来的噪声等因素,使得被测物体表面存在无效测量区域(相位数据不可靠区域)的问题.采用了时域相位去包裹技术,保证了无效区域的相位数据不会影响到有效测量区域的相位数据.与有效测量区域相比,无效区域的调制度明显较低,对调制度直方图进行分析,借鉴图像分割的思想,采用了迭代算法自动求解最佳阈值,辨识物体轮廓测量的有效测量区域和无效测量区域,实现了单视角测量的自动化过程.车灯反射体测量实验证明了这种方法的优越性和可靠性.     

相因子叠加法测量三维位移矢量

研究了物体的三维位移在傅里叶频谱面上引起的位相因子的变化。用全息二次曝光法记录此变化。提出一种测量漫射物体的三维位移矢量的新方法,避免了用传统的、二次曝光全息法测量三维位移矢量中遇到的许多困难。实验结果与理论分析得到很好的吻合。     

相因子叠加法测量三维位移的误差灵敏度及其可测范围分析

本文论述相因子叠加法测量三维位移时的误差、灵敏度以及可测范围,并讨论了提高灵敏度的方法.     

十字孔径散斑照相法

用理论和实验的方法研究了十字孔径的散斑特性。把十字孔径用于二次曝光的散斑照相法,以测量物体在平面内的位移(或变形)时,将能显著地提高干涉条纹的对比,降低相干噪声,而且还具有灵敏度高的特点。实验的结果与理论分析得到了很好的一致。     

移相式数字光学轮廓仪的研制

相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法.本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的6JA型干涉显微镜结合起来,研制成功了移相式数字光学轮廓仪,其测量范围0.5nm～1um,精度达到了σ＜0.05nm(Ra),σ＜0.7nm(P-V).由于相关技术的突破,该仪器可以对多种材料、多种轮廓形状的表面实现测量,并得到了较好的结果.     

条纹图的图像处理方法

条纹图中的条纹反映了被检测物体的信息,条纹分析技术在全息干涉技术,散斑干涉技术、莫尔技术中起着重要作用。本文研究和提出处理条纹图中条纹的一些方法,并给出了理论分析和模拟实验结果。     

圆形域干涉图中的相位解包裹

相位解包裹问题是许多干涉术中存在的基本问题.运用DCT方法的解包裹算法是十分有效、健壮的,然而仅适用于方形域条纹图处理.本文引入加权迭代方法将其有效地运用于常见的圆形域干涉图的处理.模拟结果表明,加权迭代法的计算精度可达10^-7rad,相对于普通的DCT解包裹算法有非常大的提高.我们在自行研制的DOP-2000型数字光学轮廓仪上,运用相移干涉术对一多刻线样板进行了测量,实验结果进一步表明,本文的加权迭代法是一种非常有效和实用的方法.