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叙述了用离子束溅射镀膜机进行X射线波段多层膜镀膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作,简述离子束溅射镀膜机的工作原理,X射线多层膜的制备过程,主要工艺参数及注意事项,以及用X射线小角衍射仪对制备样品进行检测的部分结果。 相似文献
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用磁控溅射法制备Mo/Si多层膜(周期为25nm,20层)和Mo/B4C多层膜(周期为3.9nm,121层),并在真空中加热30min,温度为200,400,600,800和1000℃。用小角X射线衍射法和透射电镜研究不同温度下(保温0.5h)加热的样品。实验结果表明,当加热温度达600℃时,Mo/Si多层膜周期被破坏。而Mo/B4C多层膜在800℃加热温度下仍保持周期性层状结构。说明Mo/B4C多层膜不仅周期只有3.9nm,而且具有很好的热稳定性,可以作为较短波长的软X射线多层膜推广应用。 相似文献
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采用离子束溅射镀膜装置制备了一种新的材料组合Si/C多层膜 ,用于 30 4nm波段的正入射多层膜反射镜。并用软X射线反射率计测得其反射比最大值为 0 14。有效地抑制了 15 0nm处的二级衍射峰。 相似文献
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叙述了用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层实验及制备X躬一多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理,X射线多摹制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软X射线反射率计测反射率的部分结果。 相似文献
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用磁控溅射法制备软X射线多层膜 总被引:3,自引:0,他引:3
本文介绍用直流-射频平面磁控溅射法制备软x射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下,采用计算机定时控制膜厚的方法,严格按照设计周期制备了多层膜样品,并给出了X射线衍射仪小角衍射的检测结果。 相似文献