排序方式： 共有2条查询结果，搜索用时 31 毫秒
1
1.
通常,在半导体设备刚性结构设计中要求零部件有很高的加工制造精度和装配精度,同时易传递振动、热等,并容易引入附加的力和转矩。为降低质量和成本,并提高工作性能,目前在工件台的设计中广泛采用柔性结构设计技术。列举了常见柔性件结构形式,并分析了不同结构形式柔性件的旋转刚度和精度等特性。同时,根据工件台的实际工作状态和性能需求,... 相似文献
2.
光刻机工件台的小型重力补偿器是光刻技术中关于硅片调焦调平的关键技术,其性能直接影响机器焦深误差。针对一种主动小型重力补偿器展开研究,给出了机械结构、驱动电机和隔振性能的设计,通过实验表明了设计符合需求。 相似文献
1