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为获得超平滑的GaAs基片表面,以H2O2、CeO2和NH4OH溶液为抛光液,采用化学机械抛光方法对GaAs基片进行了超精密加工.采用田口方法对氧化剂H2O2含量、碱性溶液NH4OH含量、加工载荷、抛光盘转速4个重要影响因素进行了优化设计,得到以表面粗糙度和材料去除率为评价条件的综合最优抛光参数.结果表明,当H2O2质量分数为 30%,NH4OH质量分数为0.08%,加工载荷为18 kPa,抛光盘转速为30 r/min时,可以获得表面粗糙度和材料去除率综合最优的GaAs基片抛光效率. 相似文献
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为解决天线内置型射频等离子体中无氧铜线圈的匝间绝缘问题,本文研究了一种能够在无氧铜表面烧制玻璃绝缘层的工艺,并详细研究该工艺中不同表面处理方式、粘结剂、烧制温度等因素对玻璃绝缘层性能的影响。结果表明:对无氧铜表面进行酸洗预处理相对于碱洗能够显著提高低温釉料在铜表面的润湿性,减少绝缘层表面“孔隙”的产生;同时添加适量的Na2SiO3·5H2O粘结剂能够改善玻璃绝缘层与铜表面的界面结合效果,并提高玻璃绝缘层表面的硬度;此外,绝缘层表面硬度随着烧制温度的升高逐步提高,且绝缘层表面的“孔隙”数量逐步减少;最终根据该工艺制备了表面烧制玻璃绝缘层的无氧铜线圈天线,实现了长时间的放电维持,有效解决了放电过程中匝间的绝缘问题。 相似文献
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夹芯注射成型零件由2种塑料组合而成,表层塑料要有好的表面性能,而芯层材料则有高的力学性能。由于涉及的工艺参数多、成型机理复杂,夹芯注射成型时易出现芯层材料突破壳层的现象,导致成型制品报废。本文以模流分析软件M P I为工具,以桶形制件为试验模型,通过正交试验的方法,研究了夹芯注射成型工艺参数对芯层熔体突破的条件,并得到了最佳的成型工艺参数。研究结果表明,夹芯注射成型时,对芯层熔体突破影响最大的工艺参数是芯层熔体的注射温度,其次分别是芯层熔体的注射速率和壳层熔体的注射速率,而模具温度和壳层熔体注射温度的影响最小。 相似文献
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