一种新型的钢绞线整束挤压锚具

介绍HVM钢绞线整束挤压锚具的特点、构成、试验情况及在各种场合的应用示例。     

基于模糊PID的光刻机同步扫描控制

基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。     

基于线阵CCD 的高速光刻检焦技术

随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时, FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环节,具有高速度、高分辨率、低功耗、低成本的特点。     

基于DSP的PWM温度控制系统

介绍了PWM在温度控制系统中的应用,并讨论了其在DSP上的实现.     

电子束曝光机激光工件台系统研制

介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标。该工件台采用HP5527激光干涉测量系统,测量分辨率达0.6nm,结构上成功将导向与承载分离,对承片台、机械手等进行重大创新。无论是整机性能还是关键技术单元均处于国内领先水平,是一台性能优良、高精度的电子束曝光机工件台。     

生物芯片扫描仪研究进展

简要介绍生物芯片的基本概念以及生物芯片检测装置的国内外发展动态;分别介绍了本文设计的CCD系统生物芯片检测仪和激光共聚焦生物芯片扫描仪的原理、结构、工作状况以及设备的技术参数。最后指出更高分辨率(小于1μm)的生物芯片扫描仪是该设备今后的发展趋势。     

亚微米i线投影曝光机三维精密定位工件台控制系统研究

主要介绍一种采用双单片机控制的三维精密工件台快速超精定位系统的工作原理及结构组成，并对系统进行理论和实验分析。为了实现高精度的快速定位，本系统采用了独立伺服控制技术以及变结构的ＰＩＤ自适应控制算法，使定位精度达到±０．０８μｍ（３σ）     

基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计

介绍了光刻机底面对准系统的基本原理,并分析了传统底面对准系统存在的缺点,给出了基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准新系统的设计方案。论述了系统硬件和软件的实现,并对其中的关键模块进行了深入分析。与传统底面对准系统相比,该对准系统成本降低约70%,同时,系统的可靠性大幅提高。实验表明,该系统的底面对准精度达到0.25μm,满足系统设计要求。     

基于UC3638的PWM双极性电流控制器在TEC温控中的应用

阐述了基于UC3638的PWM双极性电流控制器构成的半导体热电致冷器（TEC）温控系统。对UC3638增强型PWM电机控制IC的特点进行了介绍。给出了由UC3638构成的TEC双极性电流驱动器的设计方法。给出的温控实验结果证明了基于UC3638的控制器是可行的。     

厦门海沧大桥锚碇预应力锚固系统设计

本文主要介绍厦门海沧大桥锚碇预应力锚固系统的设计条件、系统的特点,以及锚固系统的生产加工要求、施工要求、防腐措施等。