线阵CCD在高精度测量系统中的照明选择

本文讨论了线阵CCD在一非接触高精度测量系统中照明光源的选择问题。由于测量点多，要求测量速度，精度高，线阵CCD又处于运动状态，因此在光积分时间非常短的情况下，对物体的照明提出了较高要求。本文在实验基础上通过比较多种照明光源，找出了满足高精度、高速度测量系统测量要求的照明光源。     

双纵模热稳频激光源的模糊PID控制研究

为了满足激光拍频干涉仪所需要的高的频率稳定性的激光光源,研究了双纵模热稳频的机理。以控制激光管放电电流为主要热控制方式及自创的对激光管进行感应加热作为微量控制的先进方法为控制手段,采用模糊控制理论与专家系统相结合的控制策略,建立模糊PID控制器,对双纵模激光源进行稳频。无须建立被控对象数学模型,对时滞、非线形和时变性具有一定的适应能力。实验结果显示,稳频精度无明显变化,但预热时间明显缩短,抗干扰性明显增强,强干扰后也能迅速稳频。     

一种亚纳米级分辨力同轴式激光轮廓测量系统

分析了一种同轴式激光轮廓测量系统的工作原理,开发出了一套基于WINDOWS的测量控制软件,使它具有自动控制、数据采集、信息处理及结果输出等功能,可以用三维图形直观显示被测量物体表面微观形貌、进行多种表面粗糙度参数计算。此测量系统的分辨力优于0.1nm,重复性2σ优于1.2nm。     

精细表面下细小缺陷的磁光涡流成像实时探测

磁光涡流成像检测装置可实现精细表面下细小缺陷探测。在该装置中，通过物体表面上方的交流激励线圈实现传统的涡流感应，涡流所感应的磁场由法拉第效应来检测。为了实现表面下缺陷的检测目标，激光穿过安放在激励线圈中的特殊的磁光晶体，激光偏振方向在晶体中的旋转大小取决于检测区域磁场的大小，缺陷将使检测区域磁场分量发生变化并使偏振光的旋转角发生相应变化，通过一光学装置转化成“明”或“暗”图像，该光学装置由传统的显微镜、照明系统、偏振器和CCD图像传感器组成。给出了初步的实验探测结果。     

双纵模激光拍频干涉仪的研究

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的系统。以有高稳定性和强抗干扰能力(室外可达10^-7)的双纵模热稳频He-Ne激光器为光源，其拍频约为790MHz，拍频波长约376μm；以节点为对准标志，最邻近节点到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量，分辨率为0．08μm。采用自适应滤波和小波运算大幅度地降低了光电信号噪声，并强化波形。测试表明，测量的不确定度优于30μm／10m，整个测量系统可在0～20m范围内工作。     

激光表面粗糙度测量仪的研制

激光表面粗糙度测量仪利用半导体激光器为光源，激光束投射到试件表面经微观形貌调制而形成散射场，根据对散射场分布的处理测量表面粗糙度。接收半散射带的方法处理散射光分布，测量对试件的放置位置要求低（允许的最大倾斜度Ｘ向±２°，ｙ向±５°，测量距离偏差限为±２ｍｍ）；测量范围Ｒａ从０．００５μｍ到２μｍ，配置附件可对有特殊形面的试件和内表面的粗糙度进行测量．     

激光稳频技术的新发展

本文着重介绍精密计量行业中运用的Ｈｅ－Ｎｅ激光器的稳频技术，并综述了Ｈｅ－Ｎｅ激光器单模、双模稳频技术的现状和发展动向以及新兴的半导体激光器稳频技术．     

线阵CCD在高精度测量系统中的照明选择

本文讨论了线阵CCD在一非接触高精度测量系统中照明光源的选择问题。由于测量点多 ,要求测量速度、精度高 ,线阵CCD又处于运动状态 ,因此在光积分时间非常短的情况下 ,对物体的照明提出了较高要求。本文在实验基础上通过比较多种照明光源 ,找出了满足高精度、高速度测量系统测量要求的照明光源。     

光干涉法测量微机械零件变形的研究

介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究。将准直单色光投射入由一玻璃片和被测件之间形成的空气楔中，被测件表面和玻璃片底面反射的光发生干涉，由面阵CCD接收。用快速傅立叶变换（FFT）图像处理方法得到被测微悬臂梁的三维形变图。该方法可对微小器件的微位移作分辨办为10nm的测量，并直观的显示测量结果。     

基于曲线拟合的非对称采样精度CCD图像中心检测算法

分析了边缘点影响非对称采样精度CCD图像中心拟合精度的原因,结合实验阐述了边缘点精度和数量对拟合精度影响程度的差异,得出选取拟合边缘点应沿像素坐标精度高的方向搜索的原则。最后得提出了一种复合算法,通过提高边缘点质量,使拟合误差小于±3μm,拟合精度达到亚像素级。