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1.
随着超大规模集成电路的发展,器件特征尺寸不断缩小,必然会出现Cu互连扩散阻挡层厚度无法进一步减小等瓶颈问题。因此,开发新型无扩散阻挡层Cu合金薄膜(Cu种籽层)势在必行。该新型互连结构在长时间的中高温(400~500℃)后续工艺实施过程中,需同时具备高的稳定性(不发生互扩散反应)和低的电阻率。基于此,首先综述了目前无扩散阻挡层结构的研究现状及问题,然后对基于稳定固溶体团簇模型设计制备的无扩散阻挡Cu-Ni-M薄膜的研究工作进行了梳理,通过多系列薄膜微观结构、电阻率及稳定性的对比,深入探讨了第三组元M的选择原则及其对薄膜热稳定性的影响。为进一步验证稳定固溶体团簇模型的有效性,对第二组元的变化进行了相关讨论。结果证实,选取原子半径略大于Cu、难扩散且难溶的元素作为第三组元M,薄膜表现出良好的扩散阻挡能力;当M/Ni=1/12,即合金元素完全以团簇形式固溶于Cu基体时,薄膜综合性能达到最优,能够满足微电子行业的要求。所有研究表明,稳定固溶体团簇模型在无扩散阻挡层Cu合金薄膜的成分设计方面十分有效,该模型也有望在耐高温Cu合金及抗辐照材料成分设计方面推广使用。 相似文献
2.
3.
喷气增焓空气源热泵系统可显著提高系统低温性能,应用在寒冷地区时冬季环境温度普遍在-5℃以下,而且全年温度波动范围非常大,仅以名义工况(干球温度为7℃)评价系统性能,难以准确有效反映系统真实节能效果.为此在兰州地区建立了喷气增焓空气源热泵实验系统,实测不同环境温湿度条件下系统性能,结果表明系统COP在喷气电磁阀关闭时基本呈线性变化关系,瞬时COP可达6.5,在喷气电磁阀开启时COP衰减更为缓慢,瞬时COP在2.0左右;据此分段拟合出热泵COP的经验关联式,确定其适用范围,并进行实验验证,与本实验系统相比其平均相对误差在3%以内. 相似文献
4.
采用Ni-Mg-O复合氧化物催化剂进行了流化床甲烷催化裂解法制碳纳米管的中试实验,研究了主要操作变量对甲烷转化率、催化剂产碳率、产品团聚率及催化剂损失率的影响,得到了适宜的操作条件为:甲烷进气流速16~19 cm/s、催化剂粒径150~220 μm、催化剂加入量50~60 g、反应温度650~700 ℃、反应时间120~140 min。多批次重复性实验表明,在选定的操作条件下,甲烷转化率约为30 %,催化剂产碳率约为10 gCNTs/gCAT。对纯化后的产品进行SEM及TEM形貌表征显示,制得的碳纳米管管径均匀,中空结构明显,碳纳米管的外径为10~30 nm,内径为2~5 nm。 相似文献
5.
乙烯装置前脱砷工艺探讨 总被引:3,自引:0,他引:3
简要介绍了乙烯装置中前脱砷工艺过程,但脱砷装置存在不能长周期连续运转问题,通过原因分析来对这一工艺过程加以探讨研究。 相似文献
6.
以碱式碳酸镍、三氧化钼、磷酸为原料制备钼镍磷浸渍液,并在浸渍液中分别添加乙二胺四乙酸、柠檬酸、柠檬酸和乙二胺四乙酸,制备出含单一络合剂及双络合剂的加氢处理催化剂。通过XRD、HRTEM、H2-TPR、NH3-TPD等对其进行表征,发现双络合剂催化剂与单络合剂催化剂相比,降低了活性金属与载体的相互作用力,有利于形成更多的II类活性相,且片晶长度更长,片晶层数更多;同时又具有较大的比表面积和孔容,酸量及中强酸也得到增加。因此,双络合剂催化剂具有更高的加氢脱硫、脱氮活性。 相似文献
7.
连续重整汽油选择性加氢脱烯烃用贵金属催化剂的研究 总被引:2,自引:1,他引:2
研究了Pd/Al2O3催化剂在连续重整汽油选择性加氢脱烯烃反应中的加氢性能,结果表明,对于Pd/Al2O3催化剂采用现有工业常用的工艺条件,不能满足产品需要,其原因是高沸点馏分强吸附在催化剂表面,从而导致催化剂失活.在连续重整汽油BTX馏分选择性加氢脱烯烃的反应过程中,在适宜的工艺条件下,研制的Pd/Al2O3催化剂可以使加氢汽油的溴值小于200 mg-Br·(100 g油)-1、芳烃损失小于0.5个百分点,可以满足芳烃抽提进料的指标要求.采用添加助剂的方法对单纯的Pd贵金属催化剂进行改进,改进的催化剂可用于连续重整汽油全馏分的选择性加氢,具有较好的活性、选择性和稳定性. 相似文献
8.
负载型Pd—Pt双金属催化剂中活性组分非均匀型分布研究Ⅱ:活性组分非均匀分布对双金属催化剂反应性能的影响 总被引:1,自引:1,他引:0
采用饱和浸渍法制备负载于氧化铝载体上活性组分呈非均匀分布的Pd—Pt双金属催化剂,并在脉冲微反上进行了烯烃和芳烃的加氢反应性能考察。结果表明,活性金属在载体中呈现出非均匀分布结构带来催化剂加氢性能上有明显的不同,尤其是对于芳烃的加氢饱和能力。双金属催化剂的加氢性能好于单金属制备得到的催化剂,其中金属Pd催化剂对烯烃的加氢转化能力要优于单金属Pt催化剂;芳烃加氢相对烯烃加氢要难得多,分布在壳层的Pd能很好地发挥烯烃加氢性能,内部的Pt亦能很好地保持芳烃加氢转化能力。此外试验结果还表明,C=C双键加氢和苯环加氢可能发生在相同的活性中心上,二者间存在竞争吸附。 相似文献
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10.
采用饱和浸渍法制备负载于氧化铝载体上活性组分呈非均匀分布的Pd-Pt双金属催化剂,并在脉冲微反上进行了烯烃和芳烃的加氢反应性能考察.结果表明,活性金属在载体中呈现出非均匀分布结构带来催化剂加氢性能上有明显的不同,尤其是对于芳烃的加氢饱和能力.双金属催化剂的加氢性能好于单金属制备得到的催化剂,其中金属Pd催化剂对烯烃的加氢转化能力要优于单金属Pt催化剂;芳烃加氢相对烯烃加氢要难得多,分布在壳层的Pd能很好地发挥烯烃加氢性能,内部的Pt亦能很好地保持芳烃加氢转化能力.此外试验结果还表明,C=C双键加氢和苯环加氢可能发生在相同的活性中心上,二者间存在竞争吸附. 相似文献