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为了克服传统机械式和电子式压力开关的体积大、制作工艺复杂以及不易与后续电路集成等缺点,论文采用具有金属引线台阶覆盖能力的玻璃浆料封装技术进行了无源MEMS压力开关的设计和制备。设计的无源MEMS压力开关的整体结构方案主要包括硅盖板上的压力敏感膜、硅岛、上电极和微阻挡凸台以及玻璃基底上的玻璃浆料和下电极。通过仿真优化了压力敏感膜、硅岛和上下电极的关键尺寸。经过三次湿法腐蚀工艺流程制得了双阻挡凸台、硅岛和感压膜片。通过玻璃浆料热压工艺将硅盖片、玻璃基底和金属引线三者键合成一体,工艺结果显示双阻挡凸台的高度和感压膜片的厚度很好地控制在8μm和50μm,而且经测试,MEMS压力开关的阈值压力为125kPa。 相似文献
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研究基于HLA/RTI的卫星测控仿真系统。根据模拟测控系统环境,设计基于HLA的测控系统仿真架构,介绍各成员的功能交互,设计了FOM/SOM表,将HLA思想很好应用于整个卫星测控系统,以获得仿真联邦的高层次的互操作和重用,初步达到交互仿真效果。 相似文献
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分析了互联网对传统家居产业的影响,主要表现在互联网改变了消费者获取信息的方式、让消费者的需求更加多样化、更看重品牌、更注重体验,进而提出消费者至上、公司赋牌与产品赋情、卖场电商化、建设大型线下体验馆、基于线上线下引流的精准营销、深化产业联盟等南安泛家居产业互联网+转型升级策略。 相似文献
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高校创新人才培养作为建设创新型国家的关键,创新人才战略不仅关系到高校的创新发展水平,而且影响到我国的经济社会发展速度。实施创新人才战略是高校改革和发展的根本出路。本文对几个发达国家高校的创新人才战略进行介绍,并就发达国家高校创新人才战略与我国高校进行了比较,以期对制定我国高校的创新人才战略有所帮助。 相似文献